Gebraucht LAM RESEARCH Inova #293662993 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Inova ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um ein hocheffizientes, genaues Ätzen von Keramik, Polymersubstraten und Glas zu ermöglichen. Inova ist die führende Trockenätzmaschine für Anwendungen wie Waferdünnung, dielektrisches Schichtätzen, Laserbohren und reaktives Ionenätzen (RIE). Es ist entworfen, um eine Vielzahl von Wafergrößen zu handhaben, von 200mm bis 150mm und 2 Zoll bis 6 Zoll. LAM RESEARCH Inova bietet eine präzise Kontrolle über Ätzraten und liefert höhere Erträge bei fortschrittlichen Ätzprozessen. Inova ist ein fortschrittlicher Ätzer mit industriellen Fähigkeiten. LAM RESEARCH Inova kann mit einer Reihe verschiedener Werkzeuge für eine Vielzahl von Prozessen ausgestattet werden. Es verfügt über ein vollautomatisches Robotersystem zur Handhabung von Wafern. Es enthält auch ein Plasmaquellenmodul, um Hochfrequenzätzen zu ermöglichen. Inova ist auch in der Lage, andere Werkzeugkomponenten wie Schrittmotoren, Metallspindeln sowie eine Reihe verschiedener bildgebender und messtechnischer Systeme zu integrieren. LAM RESEARCH Inova bietet eine präzise Temperaturregelung und Druckregelung während des gesamten Ätzprozesses. Dies hilft, genaue Ätzergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet Inova auch eine vollständige Palette von Prozessgassteuerung. Diese Gasspektrumregelung bietet Flexibilität für viele verschiedene Anwendungen. LAM RESEARCH Inova ist zudem robust im Umgang mit Substrat- und Prozesskontamination konzipiert. Inova umfasst optionale hochpräzise Be- und Entladestationen, die schnelle Umlaufzeiten ermöglichen. LAM RESEARCH Inova kann auch aus der Ferne automatisiert und überwacht werden, um Qualität und Zuverlässigkeit im Ätzprozess zu gewährleisten. Der Ätzer kann auch in einer Reihe von Anwendungen und Branchen wie Halbleiterherstellung, MEMS-Herstellung und Solarzellenfertigung eingesetzt werden. Inova ist ein fortschrittliches Tool, das eine konsistente und wiederholbare Leistung für eine Reihe von Ätzprozessen bietet. Diese zuverlässige und genaue Maschine wurde entwickelt, um höhere Ertragsraten und bessere Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH Inova ein All-in-One-Ätzsystem, das Flexibilität und Kontrolle bietet. Diese Eigenschaften machen Inova zum idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen.
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