Gebraucht LAM RESEARCH Inova #9315044 zu verkaufen

LAM RESEARCH Inova etcher/asher ist eine fortschrittliche, multikonfigurierbare Ätz-/Aschemaschine, die zum Planarisieren und Ätzen einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Glas und Metallfolien verwendet wird. Das System ist mit modernster Automatisierung, Computersteuerung aller wesentlichen Parameter und benutzerfreundlichen Funktionen ausgestattet, um einen effizienten, unabhängigen Betrieb zu gewährleisten. Inova wurde entwickelt, um Prozesse wie Ionenstrahlsputtern (IBS), reaktives Ionenätzen (RIE), tiefes Siliziumätzen (DSE), thermische Verarbeitung (TP) und andere Ätzoperationen durchzuführen. Mit seiner multifunktionalen Kammer kann das Gerät bei Bedarf auch eine Vielzahl von Ätzprofilen liefern sowie eine hervorragende Wafer-zu-Wafer-Gleichmäßigkeit und Präzision bewirken. Darüber hinaus ist die Maschine so konzipiert, dass sie mehrere Substratkonfigurationen für präzises und schnelles Ätzen ermöglicht und somit unabhängig von der gewünschten Konfiguration sehr konsistente Ergebnisse liefert. Die hochmoderne Software von LAM RESEARCH Inova ermöglicht es dem Anwender, jeden Prozess individuell zu steuern und so die Stabilität kritischer Parameter zu verbessern. Das Tool bietet auch fortschrittliche temperaturgesteuerte Kammern, eine präzise optische Steuerung und eine integrierte Unterstützung und Wartung, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Inovas Kammern sind für optimale Prozesswiederholbarkeit und Stabilität konzipiert und vakuumversiegelt. Der Ätzer/Ascher umfasst auch Echtzeit-Visualisierungs- und Datenerfassungsfunktionen, sodass Anwender bessere Prozess- und Ausstattungsentscheidungen treffen können. Das integrierte optische Endpunktmodell ermöglicht es dem Benutzer, Tiefe, Winkel und kritische Abmessungen auf genaue Endpunkte zu überwachen. Das programmierbare Panel-Display von LAM RESEARCH Inova mit einer intuitiven Benutzeroberfläche erhöht die Kontrolle und Flexibilität des Benutzers gegenüber Ätzprozessen und bietet eine schnelle Einrichtung, Videobildanalysen sowie erweiterte Datenmanagement- und Sicherheitsfunktionen. Das Gerät verfügt auch über eine integrierte Multi-Tool-Fähigkeit, die es dem Benutzer ermöglicht, die beste Ätzrate, Leistung, Temperatur und Kühlung basierend auf individuellen Prozessbedingungen und Substratkonfigurationen auszuwählen. Zu den Sicherheitsmerkmalen von Inova gehören die 24/7-Verfolgung von Prozessaktivitäten, die Echtzeit-Sicherheitsalarmüberwachung und der elektrostatische Entladungsschutz, um die Sicherheit des Personals während des Betriebs zu gewährleisten. Abschließend bietet LAM RESEARCH Inova etcher/asher ein fortschrittliches, multikonfigurierbares System zum Ätzen und Planarisieren unterschiedlichster Substrate. Es bietet Prozesssteuerung, Wiederholbarkeit, Sicherheitsfunktionen sowie Echtzeit-Visualisierungs- und Datenerfassungsfunktionen, sodass der Benutzer optimale Leistung, Präzision und Konsistenz erzielen kann.