Gebraucht LAM RESEARCH Isotropic chambers for 4520i #9352909 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520i Isotrope Kammern sind für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen konzipiert. Diese Ausrüstung bietet beispiellose Zuverlässigkeit, Flexibilität und Leistung bei organischen und oxidischen Asche- und Ätzprozessen. Mit seinen fortschrittlichen Steuerungssystemen bietet der 4520i eine konsistente Prozesswiederholbarkeit, ausgezeichnete Einheitlichkeit und extrem effiziente Ätzgleichförmigkeiten im Vergleich zu Legacy-Systemen. Als umfassendes Ätzsystem bietet die Kammer zudem eine hervorragende Seitenwandfunktion sowie einen überlegenen Durchsatz. Die 4520i-Kammer ist halbautomatisch aufgebaut und bietet dem Anwender die wichtigsten Funktionen. Die Kammer ist etwa doppelt so groß wie eine Standard-200mm-Nassbank und verfügt über eine Reihe innovativer Funktionen, einschließlich programmierbarer Frequenzpumpen und universeller Gleitlager. Darüber hinaus nutzt die Prozesskammer-Konstruktion eine abgedichtete Eurojet-Vakuumeinheit, um bis zu 5 Mikrometer Basisdruck bereitzustellen, der für einige Ätzprozesse erforderlich ist. Die fortschrittlichen Steuerungssysteme des 4520i ermöglichen eine präzise Steuerung des gesamten Prozesses. Die Benutzeroberflächen sind für eine intuitive Bedienung ausgelegt, um einfache Einstellungen und Parameteränderungen zu ermöglichen. Die Maschine ist auch mit einer integrierten Rezeptbibliothek mit über 130 Rezepten ausgestattet; die alle an die spezifischen Prozessparameter angepasst werden können. Darüber hinaus ermöglicht der 4520i Benutzern, Parameter während des Ätz- oder Ascheprozesses in Echtzeit zu überwachen, um Prozessstabilität und Prozessgleichförmigkeit zu gewährleisten. Der 4520i wurde entwickelt, um den Durchsatz mit seinem fortschrittlichen Kammerdesign zu maximieren. Der Ätz- oder Aschevorgang erfordert eine geringe Prozessbelastung, was mehr Platz für Wafer am Rand der Kammer ermöglicht. Zudem bietet die Kammer durch ihre offene Bauweise eine verbesserte Wafer-zu-Wafer-Gleichmäßigkeit und einen höheren Durchsatz. Aufgrund seiner eingebetteten Funktionen kann das Werkzeug für Prozesszeiten von bis zu 15 Minuten und bis zu 3 Minuten konfiguriert werden. Dies macht es für eine breite Palette von Anwendungen geeignet, einschließlich kostengünstige Testläufe und Produktionschargen. Das halbautomatische Design der 4520i Isotropic Kammern macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für Ätz- oder Ascheprozesse, die zuverlässige, wiederholbare und präzise Prozessleistung erfordern. Aufgrund seiner fortschrittlichen Steuerungssysteme bietet es konsistente Einheitlichkeit bei Ätzraten und außergewöhnlichen Durchsatz. Darüber hinaus bietet dieses Asset eine große Flexibilität und kann einfach an spezifische Prozessanforderungen angepasst werden.