Gebraucht LAM RESEARCH Kiyo EX #293630220 zu verkaufen

LAM RESEARCH Kiyo EX ist ein fortschrittliches Ätz-/Ascherwerkzeug, das entwickelt wurde, um einen hohen Durchsatz, eine geringe Wartung und eine kostengünstige Materialbearbeitung zu gewährleisten. Seine einzigartige Dualkammer-Architektur ermöglicht dem Werkzeug einen kostengünstigen Ätz- und Ascheprozess pro Charge. Die Doppelkammerarchitektur ermöglicht eine unabhängige Gasverarbeitung, die simultane Ätz- und Ascherfunktionen oder eine unabhängige Waferbearbeitung ermöglicht. Die leistungsstarke Pulselektronik auf Quellniveau und Prozesssteuerungssoftware ermöglichen eine präzise Steuerung von Ätz- und Ascheparametern mit engen Prozessmargen. Kiyo EX bietet hohen Durchsatz, Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit, die unübertroffen ist. Die hohe Ausgangsleistung von 3-4 Wafern/min und die verarbeitbare Wafergröße bis 300 mm sind in der Branche unerreicht. Die Doppelkammerarchitektur ermöglicht das Zusammenarbeiten mit anderen Werkzeugen entweder vor- oder nachgelagert für Wafer-Handling und oder sehr komplexe Prozesse. Die Pulselektronik auf Quellebene ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung mit Rezepturrückverfolgbarkeit und genauen Prozesssimulationen. Der Controller wird von Windows CE-Betriebsmitteln mit einer speziellen grafischen Schnittstelle angetrieben, die es ermöglicht, eine Vielzahl von Parametern zu steuern und Rezeptparameter einzustellen, einschließlich Gasart, Kammerdruck, Wafergeschwindigkeit, Wafertemperatur und andere Prozessvariablen. LAM RESEARCH Kiyo EX verfügt auch über erweiterte Sicherheits- und Umweltschutzfunktionen wie ein aktives Reinigungssystem, um eine hohe Prozesssicherheit zu gewährleisten. Seine fortschrittlichen Überwachungs- und Steuerungssysteme verfügen über eine Selbstdiagnoseeinheit, die überprüft, um die Einhaltung der Anforderungen der Maschine und einen eingebauten Sicherheitsverriegelungsschalter für das Gashandling sicherzustellen. Die aktive Spülfähigkeit in Kombination mit dem Low-Level-Auspuffregelwerkzeug trägt dazu bei, eine sichere Umgebung für sensible Prozesse wie LEF und Passivierung zu erhalten. Kiyo EX bietet hervorragende Funktionen, um kostengünstige Prozesse mit hohem Durchsatz zu ermöglichen. Seine Dualkammer-Architektur, erweiterte Prozesssteuerung und Sicherheitsfunktionen machen es zu einer Top-Wahl für Ätz- und Ascheranwendungen. Mit seinem breiten Anwendungsspektrum ist es ein ideales Werkzeug für nahezu jeden Bedarf an Industrie- oder Forschungsmaterialien.