Gebraucht LAM RESEARCH Kiyo EX #293824451 zu verkaufen

LAM RESEARCH Kiyo EX ist ein Hochleistungs-Ätzer der nächsten Generation, der für fortschrittliche Anwendungen in der Geräteherstellung entwickelt wurde. Es hat die Fähigkeit, im Wesentlichen alle Materialtypen wie Silizium, Glas und Metall bis zu 1 Mikron Größe zu ätzen. Das Gerät verfügt über eine hochmoderne Mehrzonen-Plasmaquelle und eine druckgesteuerte Kerfless-Ätzkammer (PCKE) zur präzisen Ätzsteuerung und Prozesswiederholbarkeit. Dieser Ätzer der nächsten Generation nutzt eine selbstoptimierende Plasmaquelle, um Ungleichmäßigkeiten bei der Wafer-Strukturierung zu minimieren und einen schnelleren Durchsatz zu erzielen. Das System verwendet eine neue, hochdichte, induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) sowie ein optimiertes Magnetfeld zur Steuerung des Ätzprozesses. Das Gerät ist mit räumlichen Fähigkeiten ausgestattet, um überlappende oder Dual-Wellenlängen-Strahlungsquellen mit einer Vielzahl von Magnetfeld-Konfigurationen unterzubringen und bietet Flexibilität in der Ätzleistung und Konformisation von DRAM-Schichten mit hoher Dichte. Die verbesserte automatisierte In-situ-Endpunkt-Erkennungsmaschine sorgt für ein genaues und wiederholbares Ätzen von Topographien auf praktisch jedem Substrat. Zu den weiteren Merkmalen von Kiyo EX gehören eine neuartige Shifted Flow Etch Chamber (SFEC) für verbesserte Ätzgleichmäßigkeit und eine Look-Up Table (LUT) Process Control für schnelle und genaue Prozesswiederholbarkeit. Darüber hinaus kann das Werkzeug mit einer Reihe von verschiedenen Prozessen wie Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), Atomic Layer Deposition (ALD) und Sputtering konfiguriert werden, um die volle Kompatibilität mit verschiedenen Anwendungen zu gewährleisten. Die Ätzkammern auf der Anlage sind mit Hochtemperatur-Edelstahl gebaut, und die Impuls-Gleichstromversorgungseinheiten sind entworfen, um harmonische Verzerrung zu reduzieren und Energieeffizienz zu maximieren. LAM RESEARCH Kiyo EX ist die perfekte Lösung für eine breite Palette fortschrittlicher Geräteherstellungsprozesse. Mit seiner effizienten und zuverlässigen Leistung ermöglicht Kiyo EX höchste Erträge und niedrigste Gesamtbetriebskosten (TCO). LAM RESEARCH Kiyo EX ist eine zuverlässige Ätzlösung für fortgeschrittene Gerätehersteller.