Gebraucht LAM RESEARCH Kiyo EX #9270879 zu verkaufen

LAM RESEARCH Kiyo EX ist ein Ätzer/Ascher, der auf die Halbleiterindustrie zugeschnitten ist. Es ist ein Hochleistungswerkzeug, das hervorragende Ergebnisse beim Ätzen und Aschen verschiedener Materialien wie Silizium, Galliumarsenid und Silizium auf Isolator (SoI) Wafer erzielen kann. Es kommt mit einem leistungsfähigen und benutzerfreundlichen Controller bietet volle Flexibilität bei der Steuerung von Ätz- und Ascheprozessen. Die Prozessparameter sind einstellbar und bieten eine hohe Genauigkeit und Präzision. Es ist auch ideal für Low-K und III-V Geräteherstellung. Kiyo EX besteht aus mehreren Subsystemen wie der leistungsfähigen Plasmaquelle, Ätzkammer und Wafer-Mapping-Tabelle. Die Plasmaquelle sorgt für eine zuverlässige, gleichmäßige und effektive Abgabe von Metallionen und ist für ein gleichmäßiges Ätzen über die Waferoberfläche verantwortlich. Die Ätzkammer besteht aus mehreren Komponenten wie Brausekopf, Umwälzpumpen und Ausschußtransport. Diese Ätzkammer soll eine gleichmäßige Tiefe und Schichtätzung bewirken. Die Wafer-Mapping-Tabelle dient zur Positionierung und Ausrichtung des zu ätzenden Wafers. Dies gewährleistet Präzision und Wiederholbarkeit des Ätzprozesses. LAM RESEARCH Kiyo EX bietet eine Vielzahl von Ätzchemie wie HF-basierte Chemie, Cl2-based Chemie und HBr-basierte Chemie, sowie eine Vielzahl von Hintergrundgasen, um einheitliches Ätzen zu erleichtern. Es kommt auch mit mehreren Plasmageneratoren ausgestattet, die Ionen und Energie genau auf die Waferoberfläche abscheiden können. Kiyo EX verfügt über eine Reihe von Zubehör und Zusatzmodulen, die es zum perfekten Werkzeug für erweiterte Ätz- und Ascheoperationen machen. Es ist ein sehr vielseitiges Werkzeug, das in der Lage ist, Substrate mit einem Durchmesser von 2 "bis 200 mm zu bearbeiten. LAM RESEARCH Kiyo EX verfügt auch über mehrere Sicherheitsfunktionen wie Verriegelungen und Gaserkennung, die das Werkzeug vor möglichen Schäden schützen. Es ist perfekt für Chargenätz- und -veraschungsvorgänge in einer Vielzahl von Branchen für Industriestandard-Ätz- und -Veraschungsanwendungen. Mit seiner Vielseitigkeit und Präzision ist Kiyo EX das perfekte Werkzeug für jeden Ätz- und Ascheprozess.