Gebraucht LAM RESEARCH Kiyo EXP #293642656 zu verkaufen

LAM RESEARCH Kiyo EXP ist eine Ätz-/Aschemaschine, die mit hochdichter Plasmatechnologie eine hervorragende Plasmaätzleistung in Produktionsumgebungen liefert. Das Gerät nutzt vier HF-Quellen mit einem breiten Plasmaätzbereich, die ein präzises und flexibles Ätzen einer Vielzahl von Materialien ermöglichen, darunter Si, SiO2, SiN, SiON, GaN, UV und andere. Das Gerät hat auch die Fähigkeit der Präzisionsplasma Reinigung und Abscheidung, so dass es ideal für viele Produktions- und F & E-Anwendungen. Der Plasmaätzprozess von Kiyo EXP ist schnell und präzise, mit ausgezeichneter Kontrolle über die Materialätzrate und die Funktionstopographie. Diese hochpräzise Ätzung ermöglicht eine präzise Tiefenkontrolle tiefer Mikrometer-Merkmale. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH Kiyo EXP mit einer fortschrittlichen Ausrüstung zur gleichmäßigen Verteilung von Ätzgasen über die gesamte Waferoberfläche ausgestattet, die eine einheitliche Ätzrate und einen Seitenwandwinkel bietet. Die fortschrittliche Automatisierung von Kiyo EXP stellt sicher, dass die richtige Kombination von Prozessen, Materialien und Parametern für die Ätz- oder Reinigungsschritte verwendet wird. Für jede Prozedur können verschiedene Programme, Rezepte und vordefinierte Parameter gespeichert werden, die bei Bedarf zurückgerufen und verwendet werden können. Das Gerät ist auch in der Lage, zusätzliche Funktionen wie digitale I/O, Auto-Tuning und Wafer Re-Orientierung. Das automatische Selbstdiagnose-Überwachungssystem auf LAM RESEARCH Kiyo EXP überprüft kontinuierlich den Zustand und Betriebszustand der Einheit und ermöglicht eine Echtzeit-Prozessoptimierung. Der Computer bietet Benutzern außerdem die Möglichkeit, über ein sicheres Ethernet-Netzwerk über den Ethernet-Protokollserver remote auf Daten zuzugreifen. Insgesamt ist Kiyo EXP eine zuverlässige und effiziente Ätz-/Ashging-Plattform, ideal für Produktions- und Forschungsanwendungen. Mit seinen hochpräzisen Ätzfunktionen, Flexibilität, sicherem Fernzugriff auf Daten und automatisierter Gesundheitsüberwachung ist LAM RESEARCH Kiyo EXP eines der führenden Plasmaätz-/Aschesysteme auf dem Markt.