Gebraucht LAM RESEARCH KIYO FX STRIP #9311232 zu verkaufen

LAM RESEARCH KIYO FX STRIP ist eine fortschrittliche Ätz-/Asche-32-Bit-Ausrüstung, die Präzisionsätz-/Ascheprozesse in einem kleinen Platzbedarf liefert und somit perfekt für Anwendungen in der Hochserienproduktion geeignet ist. KIYO FX STRIP ist eine flexible Plattform, die den gestiegenen Anforderungen im Zusammenhang mit tiefer Ätzung und flacher Asche sowie dielektrischem Ätzen und BEOL-Prozessen gerecht wird. Es bietet maximale Durchsatz- und Rezepturfähigkeit und kann für eine Vielzahl von mehrschichtigen Ätz- und Ascheplanungen sowie für erweiterte Prozessabläufe verwendet werden, um die engen Toleranzen im Zusammenhang mit integrierten Gerätestrukturen aufzunehmen. Es ist mit einer skalierbaren Rezeptdatenbank gebaut, die das Beste aus den SEMI-ES7 computergesteuerten Gerätesteuerungssystemen von LAM mit fortschrittlicher Vakuumsystemtechnologie und Prozesssteuerungsfähigkeit kombiniert. LAM RESEARCH KIYO FX STRIP verfügt auch über eine erweiterte Reihe von Prozesszubehör, einschließlich automatisierter Prozess-Endpunktdetektor, automatische Zonenleistungssteuerung, programmierbare Prozesszeitsteuerung und automatische Wafer-Waschfähigkeit. Das Niederspannungsnetzteil sorgt für präzises Ätzen bei niedriger Spannung und verhindert Unregelmäßigkeiten im Ätzprozess. Darüber hinaus ist dieses Gerät mit einer Reihe von Wafergrößen kompatibel und verfügt über eine modulare Plattform, die an eine Vielzahl von Anwendungen angepasst werden kann. KIYO FX STRIP verfügt über einen leistungsstarken Prozessvisualisierer mit benutzerfreundlicher grafischer Oberfläche, mit der Bediener den Prozess überwachen und anpassen können. Es verfügt auch über Berichtsfunktionen, die es Operatoren ermöglichen, den Prozess vor Beginn jeder Ausführung zu analysieren und zu verfeinern. Funktionen wie Prozessüberwachung, Überwachung von Hardwarekomponenten, Temperaturregelung und automatische Prozesssteuerung ermöglichen eine schnelle Reaktion auf veränderte Prozessvariablen und effiziente Prozesszyklen. Insgesamt ist LAM RESEARCH KIYO FX STRIP eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die Präzisionsätz-/Ascheprozesse auf kleiner Fläche bereitstellt. Mit einer Reihe von nützlichen Prozesszubehör wie automatisierten Prozess-Endpunktdetektor, Zonenleistungssteuerung und Waferwaschung sowie integrierte Berichts- und Prozessvisualisierungsfunktionen, es bietet tiefe Ätz-, Flachasche- und dielektrische Ätz- und BEOL-Verfahren, sowie schnelle Reaktion auf veränderte Prozessvariablen und reduzierte Rüstzeiten, Damit ist es eine ideale Lösung für Serienanwendungen.