Gebraucht LAM RESEARCH KIYO FX #293791061 zu verkaufen

LAM RESEARCH KIYO FX ist eine leistungsstarke Ätz-/Aschelösung, die auf der Spitzentechnologie der Plasma-Etch-Gruppe basiert. KIYO FX wurde entwickelt, um hohe Durchsätze, saubere und gleichmäßige Ergebnisse in Ätz- und Ascheprozessschritten zu erzielen. Es ist eine ideale Lösung für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen, einschließlich Halbleiter-Wafer-Substratmaterialätzen, MEMS/NEMS/MOEMS-Geräteätzen, Nanolithographie und Photolithographie, Mustern von Masken und anderem Fotomaskenmaterial und mehr. LAM RESEARCH KIYO FX verfügt über eine innovative Niederdruck-Reaktivionenätztechnik (RIE), die hochwertige Oberflächen und einheitliche Ätzprofile erzeugt. Das Gerät verwendet sowohl aktive als auch gepulste Modenätzung, die Muster und Merkmale auf der Sub-Mikron-Skala erzeugen kann. KIYO FX umfasst auch eine Vielzahl von Prozesswerkzeugen wie Mikrowellenplasmen, niederdruckinduktiv gekoppelte Plasmen (ICP) und tiefenreaktives Ionenätzen (DRIE). Es ist in der Lage, mittel- bis hochfrequente Ätzleistung zu erzielen, mit einer hohen Präzision bei der Steuerung der chargeninternen und batchinternen Variabilität kritischer Parameter wie Merkmalsgröße und Ätzgleichmäßigkeit. LAM RESEARCH KIYO FX ist mit einer Vielzahl von prozesssteigernden Funktionen konzipiert, einschließlich Automatisierungsfunktionen, Temperaturregelung, Anwendungsüberwachung und programmierbarer Datenprotokollierung. Unsere innovativen Prozessgase wie Chlor, Sauerstoff und Argon sorgen für überlegene Ätzleistung. Darüber hinaus verfügt das System über eine hochauflösende Vision-Einheit zur Optimierung der Prozessqualität sowie über eine Datenerfassungsmaschine, die kritische Prozessparameter wie Druck, Durchfluss, Temperatur und andere relevante Parameter aufzeichnet. KIYO FX bietet Hochdurchsatz, Niederdruckätzen und Ascheverhalten für eine breite Palette von Materialien. Seine robuste und zuverlässige Plattform ist in der Lage, mit mehreren Materialien zu arbeiten, von dielektrischen Folien bis zu Metallen, und sogar harte Materialkombinationen, so dass es die ideale Ätzlösung für die fortschrittliche Herstellung und Geräteherstellung.