Gebraucht LAM RESEARCH KIYO FX #293819375 zu verkaufen

LAM RESEARCH KIYO FX ist eine hochleistungsfähige, hochleistungsfähige Ätzer-/Ascherlösung, die entwickelt wurde, um die Anforderungen an die Halbleiterherstellung auf der ganzen Welt zu erfüllen. Diese Ätz- und Ascheausrüstung wurde entwickelt, um branchenführende Leistung für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheverfahren zu liefern, die in der gesamten Halbleiterindustrie eingesetzt werden. KIYO FX bietet ein spannungsarmes Ätzen/Aschen mehrerer Schichten verschiedener digitaler Materialien, was eine verbesserte Ausbeute und Qualität ermöglicht. Das System verwendet einen digitalen Controller, um im Laufe der Zeit Gleichmäßigkeiten im Ätz-/Ascheprozess aufrechtzuerhalten und die Konsistenz von Batch zu Batch zu gewährleisten. LAM RESEARCH KIYO FX ist mit einem fortschrittlichen trockenen Etch/Asher-Modul ausgestattet, das einen erhöhten Durchsatz und eine verbesserte Durchsatzgleichmäßigkeit für Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Der Ätz-/Aschevorgang ist auf die spezifischen Schichten und Materialien zugeschnitten, die geätzt oder ascht werden. Das Gerät ist in der Lage, Ätzraten von bis zu 95% in Halbleiteranwendungen und Ascheraten von bis zu 60% zu liefern. Neben seinem leistungsstarken Ätz-/Ashing-Modul verfügt KIYO FX auch über eine Reihe weiterer Funktionen, die die Leistung und Effizienz während des Ätz- und Ashing-Prozesses verbessern. LAM RESEARCH KIYO FX umfasst einen hochpräzisen Ultrahochfrequenz-Kreisel und Quillantrieb, der eine präzise Bewegung der Platte beim Ätzen und Aschen ermöglicht. Diese erhöhte Genauigkeit und Kontrolle verbessert die Prozessgleichförmigkeit erheblich und trägt dazu bei, dass jede Schicht konsistent geätzt und axt wird. KIYO FX enthält auch ein maßgeschneidertes Messwerkzeug, das helfen kann, die am besten geeigneten Ätz-/Ascheparameter für einen bestimmten Prozess zu bestimmen, bevor die Maschine läuft. Dies geschieht durch Messung der Ätz- und Ascheuniformitäten vor und nach dem Ätzen und Aschen und Bereitstellung von Daten zur Genauigkeitsprüfung und Prozessoptimierung. LAM RESEARCH KIYO FX ist für manuelle und automatisierte Prozesse konzipiert und bietet eine Reihe von Optionen für den Betrieb. Das Tool verfügt über die Möglichkeit, automatisiert zu werden, mit einer ganzen Reihe von anpassbaren parametrischen Rezepten, die vom Benutzer eingestellt und gespeichert werden können. Darüber hinaus verfügt das Asset über einen integrierten Datenerfassungs- und Berichtsprozess, der eine vollständige Bewertung der Prozessergebnisse ermöglicht. KIYO FX ist ein Ätz- und Aschemodell, das eine außergewöhnliche Durchsatzrate und Gleichmäßigkeit bietet und verbesserte Erträge und Prozessoptimierung ermöglicht. Mit einem digitalen Controller, einem erweiterten Ätz-/Aschemodul, präzisen Bewegungen von Platten und Datenerfassung und -berichterstattung bietet LAM RESEARCH KIYO FX eine ideale Lösung für den Ätzer/Ascher von Herstellern, die mit mehreren Schichten von digitalen Materialien arbeiten.