Gebraucht LAM RESEARCH KIYO FX #9311231 zu verkaufen

LAM RESEARCH KIYO FX Plasma Etcher/Asher ist ein integriertes Plasmaätz- und Nachbearbeitungssystem, das eine effiziente und gleichmäßige Plasmaätzung und Nachbearbeitung verschiedener Oberflächen wie Metalle, Halbleiter, Silizide, Dielektrika und optisch beschichtete Materialien ermöglicht. KIYO FX ist mit einem Hochleistungs-HF-Generator ausgestattet, um eine höhere Selektivität und eine bessere Oberflächenbehandlung als die meisten anderen Ätzer auf dem Markt zu gewährleisten. LAM RESEARCH KIYO FX hat eine große Kammergröße von 600 x 545 x 280 mm und ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen, die das Ätzen größerer Stapel oder Sammelfelder ermöglichen. Der Controller bietet eine intuitive GUI mit einer umfangreichen Palette von Parametern, die eine Feinabstimmung des Ätzprozesses ermöglicht. Die Plasmaätzer sind für ein optimales Ätzprofil und minimale Schäden an den Wafern ausgelegt. KIYO FX ist in der Lage, Wafer mit kontrollierten Plasmaparametern zu ätzen, um die Resistspezifikationen, die Materialkombination und die Prozessparameter zu erfüllen. Es enthält auch eine Doppelfutter-Konstruktion, die Druck auf die Rückseite des Wafers ausübt, um ein besseres Ätzprofil zu gewährleisten. LAM RESEARCH KIYO FX kann an verschiedenen Gasströmen wie Ar, O2, N2 und C4F8 ätzen und hat optimierte Rezepte für jeden Ätzmaterialpartner. KIYO FX kommt mit einer kompletten Diskussion über Ätzprozess, Ätzparameter, Wafer-Kontamination, Wafer-Be- und Entladung, Wafermessung und Rückmeldung. All diese Funktionen machen LAM RESEARCH KIYO FX zu einem der umfassenderen Ätzsysteme auf dem Markt. Es ist auch sehr benutzerfreundlich und kann auf die spezifischen Bedürfnisse des Kunden zugeschnitten werden. KIYO FX ist eine vielseitige Plattform, die sich für viele Ätzanwendungen in der Halbleiterindustrie eignet. Die robuste Konstruktion ermöglicht es, eine breite Palette von Waren in einem einzigen Lauf einschließlich Metalle, Dielektrika, Isolationsmaterialien und Passivierungsschichten geätzt werden. Dieses Ätzsystem verfügt auch über eine effiziente Temperaturregelung, einen niedrigen Kammerdruck und eine Schnittstelle mit geringer Abscheidung, wodurch der Ätzer mit überlegener Steuerbarkeit und Qualität geätzt werden kann. LAM RESEARCH KIYO FX-Ätzer sorgt auch für eine hohe Datenrate, die das Ätzen von großen Teilen ermöglicht. Insgesamt ist KIYO FX ein großartiger Etcher/Ascher zum Ätzen und Nachbearbeiten unterschiedlichster Oberflächen. Das robuste Design, die intuitive Benutzeroberfläche und die einstellbaren Parametereinstellungen machen dies zu einer ausgezeichneten Wahl für Ätzanwendungen in der Halbleiterindustrie.