Gebraucht LAM RESEARCH Kiyo Poly #9353174 zu verkaufen

LAM RESEARCH Kiyo Poly ist eine fortschrittliche anisotrope Trockenätzer/Ascher-Ausrüstung zum anisotropen Ätzen von Photoresists und Polymerfilmen. Das System wurde entwickelt, um eine präzise Kontrolle der Selektivität, anisotrope Ätzprofile und ausgezeichnete Materialgleichförmigkeit zu gewährleisten. Die Technologie kombiniert Hochfrequenz (RF) und Gleichstrom (DC) Vorspannung, voreingestellte Rezepte und eine Vakuumkammer, in der die Prozessscheiben untergebracht sind. Kiyo Poly ist mit einem Vier-Kammer-DC-Ätzer und einem Fünf-Elektroden-HF-Generator in einer einzigen kompakten Einheit ausgestattet. Diese Maschine schöpft aus einer Reihe von Ätzprozessen, um ein optimiertes Ätzen von Photoresists, Polymerfilmen und sogar Proben von Kohlenstoff-Nanoröhren zu erreichen. Es bietet überlegene Selektivität und Profile mit Gleichmäßigkeit über große Flächen. Der Trockenätzprozess des Kiyo wird durch Ätzgase wie Chlor (Cl2), Stickstofftrifluorid (NF3) und thermisch verstärktes Ethylenfluorid (TEF) betrieben, die je nach geätztem Material in mehreren Kombinationen eingesetzt werden. Heizelemente werden zur Erzeugung der erforderlichen Temperaturniveaus während der Prozesssteuerdaten verwendet und von der Bordprozesssteuerung automatisch überwacht. Die Steuerung und Optimierung der Ätzchemie und der Parameter erfolgt mit Hilfe der Ätzprofil-Überwachungssoftware, die mittels einer vollen digitalen Rückkopplungsschleife die Parameter in Echtzeit anpasst. Die vorprogrammierten Rezepte, die in der Prozesssteuerung des Werkzeugs gespeichert sind, bieten ein vielseitiges Ätzen verschiedener Arten von Materialien. Die Verwendung von Ätzgasen in Kombination mit HF-Biasleistung und DC-Biasleistung zur elektrochemischen Ätzung von Photoresists, Polymeren und anderen Materialien erzeugt eine präzise Profilkontrolle und eine ideale Ätzrate. Der Benutzer kann die Selektivität des Ätzens definieren und das Rezept sogar an die Form des Probenmaterials anpassen. Ein automatischer Waferlader ermöglicht es dem Gerät, mehrere Substrate gleichzeitig zu verarbeiten, was eine hervorragende Wiederholbarkeit, Genauigkeit und Konsistenz ergibt. LAM RESEARCH Kiyo Poly ist ein vielseitiger, kostengünstiger und zuverlässiger Ätzer für eine Vielzahl von Branchen wie Halbleiter, Photovoltaik, Telekommunikation und Medizin. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und sein robustes Design machen es zu einer zuverlässigen Wahl für das Ätzen einer Reihe von Substraten mit überlegener Gleichmäßigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit.