Gebraucht LAM RESEARCH Kiyo #9282757 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9282757
Poly etcher
(3) Chambers (PM2, 3, 4)
With microwave (PM1)
MF (EFEM / TM):
Platform type: V2
(3) BROOKS 002-7200-32 Load ports
BROOKS 138150 ATM Robot
BROOKS 401600-201-0002-FRU TM Robot
EDWARDS A419-42-212 IPump (Ontool pump)
(4) GE 605-109114-001 CPU
(4) LAM RESEARCH 810-099175-103 VIOP
(4) LAM RESEARCH 605-707109-001 Engenuities
WATLOW 778-900046-701 Temperature controller
(3) WATLOW 778-900046-301 Temperature controllers
(3) LAM RESEARCH 810-495659-006 ESC Power supplies
(3) OCEAN OPTICS 685-801852-002 OES
MKS VDMB-23398 VODM
ASTEX AX2630NRC3-Q Microwave source
(3) LAM RESEARCH 839-019090-328 ESC
IGS Gas box
Gas line:
(3) Gas 12 HORIBA Z300
(3) Gas 11 LAM RESEARCH 797-026724-303
(3) Gas 10 HORIBA Z300
(3) Gas 9 LAM RESEARCH 797-026724-508
(3) Gas 8 HORIBA Z300
(3) Gas 7 LAM RESEARCH 797-026724-509
(3) Gas 6 HORIBA Z300
(3) Gas 5 HORIBA Z300
(4) Gas 4 HORIBA Z300
(3) Gas 3
(3) Gas 2 LAM RESEARCH 797-026724-525
(3) Gas1 LAM RESEARCH 797-0267724-624
(3) MKS 649A-25014 He UPC
UNIT UFC1661 O2
UNIT UFC1661 N2
(3) MKS E28B-23747 Process guages
HPS 109070019-CE TM vacuum guage
(2) HASTING HPM 2002 OBE Air lock vacuum guages
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pumps
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pump controllers
(4) ADIXEN ADS1202H PM Dry pumps
(3) RATCHETC BCU-E320F1 Chillers
(3) AE 660-024637-026 BIAS RF Generators
(3) AE 660-900984-008 TCP RF Generators
(3) LAM RESEARCH 848-801420-017 BIAS RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 853-800120-112 TCP RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 834-030822-025 BIAS RF Cables
(3) LAM RESEARCH 834-030819-018 TCP RF Cables.
LAM RESEARCH Kiyo ist eine hocheffiziente, kostengünstige Ätz-/Ascheausrüstung, die sich ideal für die Herstellung von Halbleiterscheiben und andere verwandte Anwendungen eignet. Es ist mit einer hocheffizienten Quarzrohr-Plasmaquelle ausgestattet, die das Ätzen viermal schneller als bisherige Lösungen mit verbesserter Wiederholbarkeit erleichtert. Kiyo bietet auch den Vorteil einer verbesserten Kontaminationskontrolle, dank seines innovativen Designs, das eine minimale Kontaminationskonditionierung erfordert. Dies ermöglicht es, extrem niedrige Prozess- und Partikelverunreinigungen zu erreichen. Es ermöglicht Benutzern auch, mehrere Waferbearbeitungsschritte mit einem System durchzuführen, was zu erheblichen Kosteneinsparungen durch reduzierte Werkzeugwartung und Zykluszeiten führt. Neben der verbesserten Geschwindigkeit und Qualität der Waferbearbeitung ermöglicht die intuitive Benutzeroberfläche von LAM RESEARCH Kiyo den Bedienern die Programmierung des Geräts für optimale Leistung, während die fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen einen verbesserten Schutz vor Gefahrstoffen bieten. Diese Maschine ist in der Lage, hohe Ätzraten mit ultrapräziser Spannungs- und Druckregelung sowie Niedertemperaturbetrieb zu erreichen. Kiyo kann konfiguriert werden, um eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, die von verschiedenen Metallen, Polymeren und Siliziden bis hin zu den schwer ätzbaren Materialien wie Siliziumcarbiden und Nitriden reichen. Darüber hinaus kann es dank Funktionen wie programmierbaren Rezepten und automatisierten Rezepttransfers nahtlos in der Produktion eingesetzt werden. Das Tool bietet auch erweiterte Überwachungs- und Diagnosefunktionen, sodass Benutzer Fehler schnell erkennen und korrigieren können. Insgesamt ist LAM RESEARCH Kiyo eine unglaublich fortschrittliche Ätzanlage, die branchenführende Funktionen zu erschwinglichen Kosten bietet. Seine intuitive grafische Benutzeroberfläche vereinfacht das Training, und seine beispiellose Geschwindigkeit und Qualität macht es zu einer idealen Lösung für Unternehmen, die kurze Produktionszyklen und qualitativ hochwertige Produkte benötigen.
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