Gebraucht LAM RESEARCH Kiyo #9298588 zu verkaufen

LAM RESEARCH Kiyo
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
Kiyo
ID: 9298588
Weinlese: 2004
Poly etcher 2004 vintage.
LAM RESEARCH Kiyo ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um überlegene Ätz- und Aschefähigkeit in einer Vielzahl von Anwendungen mit hohem Volumen zu bieten. Mit modernster Technik ist es eine ausgezeichnete Wahl für die anspruchsvollsten Serienanforderungen. Kiyo verwendet eine Advanced Source-Monitor Polarity (ASMP) -Technologie sowie einen einzigartigen Multi-Point Arc-Assisted Etch (MPAE), um eine überlegene Ätz- und Ascheleistung zu bieten. ASMP bietet LAM RESEARCH Kiyo die Möglichkeit, das gleiche Ätzwerkzeug bei verschiedenen Kombinationen von Vorspannungen und Quellströmen zu verwenden, was komplizierte Konstruktionsänderungen ohne die Notwendigkeit neuer Ätzwerkzeuge ermöglicht. Das MPAE ist ein einzigartiger Prozess elektrischer Lichtbögen, der zwischen der Substratelektrode und dem Ätzwerkzeug initiiert wird und hilft, Gasmoleküle mit höherer Genauigkeit und Zuverlässigkeit auf den Source-Monitor zu übertragen. Diese Funktion bietet zusätzliche Prozesswiederholbarkeit und Effizienz. Kiyo verfügt auch über eine integrierte, temperaturgesteuerte Kammer, die eine optimale Temperaturstabilität beim Ätzen und Aschen gewährleistet. Dadurch wird ein qualitativ hochwertiges Ätzen und Aschen gewährleistet und die Chancen für Substratschäden während des Prozesses reduziert. LAM RESEARCH Kiyo kann Wafer bis zu 8 "Durchmesser und Waferdicken bis zu 200 µm ätzen und/oder waschen. Es ist in der Lage, hochdichtes Ätzen, einstufiges Ätzen, mehrstufiges Ätzen und Submikronätzen. Kiyo ist ein voll ausgestattetes Tool, das mehrere Vorteile gegenüber traditionellen Optionen bietet. Die fortschrittliche Polaritätstechnologie für den Quellmonitor und die mehrschichtige Ätzstruktur zielen auf die am meisten benötigte Prozessfähigkeit ab, wodurch der Bedarf an mehreren Werkzeugen verringert und höhere Durchsätze ermöglicht werden. Seine präzise Ätzung ermöglicht extrem hohe Erträge, und seine kompakte Form und geringe Stellfläche machen es zu einer bequemen Passform für kleine Nachbearbeitungsstationen oder Labore. Abschließend ist LAM RESEARCH Kiyo ein Ätzer/Ascher, der einen Stempel in Bezug auf Funktionen verpackt und ideal für eine Vielzahl von Anwendungen mit hohem Volumen ist. Es bietet hochpräzises Ätzen, überlegene Ätz- und Ascheleistung, Temperaturstabilität und eine flexible Konstruktionsstruktur. Kiyo verspricht, ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für jedes Labor zu sein.
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