Gebraucht LAM RESEARCH Kiyo45 Poly #9137311 zu verkaufen

LAM RESEARCH Kiyo45 Poly ist eine Niederdruck-Ätz-/Aschemaschine, die hauptsächlich für die Halbleiter- und MEMS-Industrie entwickelt wurde. Es eignet sich optimal für Anwendungen wie hochpräzises Polysiliziumätzen, durch Ätzen, flache Grabenisolierung (STI) Ätzen, Kontaktlochätzen, Passivierungsschichtätzen und Wellenleiterätzen. Das System nutzt eine neuartige, patentierte, hohe Seitenverhältnis Ätztechnologie (HARI), die einen Gaskrümmer und Duschkopf in einer einzigen integrierten Einheit integriert. Das Gerät ist in der Lage, lange, gleichmäßige Ätzzeiten bei sehr niedrigen Gasdrücken und ohne Beschädigung der Geräteoberfläche vorzusehen. Dies trägt zu sehr hohen Geräteausbeuten und Wiederholbarkeit bei. Diese Maschine kann für eine Batch-, Inline- oder eigenständige Konfiguration mit einer Reihe von Prozesskammergrößen und Konfigurationen konfiguriert werden. Kiyo45 Poly wurde entwickelt, um Flexibilität für eine Vielzahl von Anwendungen und Substraten zu bieten. Ein wichtiges Merkmal des Werkzeugs ist seine hochgenaue und kontrollierbare Energiezufuhr Asset. Dies ermöglicht dem Anwender sehr reproduzierbare Prozessergebnisse mit einer hervorragenden Profilsteuerung für Polysiliziumätzanwendungen. Die Stromquelle kann maximal 2000W für überlegene Polysiliziumätzergebnisse erzeugen. Zusätzlich kann LAM RESEARCH Kiyo45 Poly mit Atmosphärendruck oder Niederdruck betrieben und von 1500-2000W aus betrieben werden. Das Modell ist auch mit der neuesten Plasmakontrolltechnik ausgestattet. Es verwendet ein verteiltes Magnetfeld (DMF), um verbesserte Ätzleistung, Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit zu bieten. Das ZMS soll die Ätzgleichförmigkeit über die gesamte Waferoberfläche maximieren und auch die Sauerstoffverunreinigung und Partikelbildung effektiv reduzieren. Dies geschieht durch Erhöhung der Zerstäubungseffizienz und Steuerung der Elektrodenerosion. Das ZMS optimiert auch die Verteilung von Ätzprozessgasen über die Waferoberfläche und verbessert so die Ätzrate über den gesamten Wafer. Darüber hinaus bietet die Anlage eine stabile und genaue Kontrolle über den Druck und die Strömung der Prozessgase. Der Prozeßgasstrom wird von den bordeigenen Massenstromreglern genau gesteuert, die automatisch auf die Prozeßparameter abgestimmt werden. Außerdem ermöglicht das einzigartige Design Kiyo45 Poly-Integrationssystems eine einfache Aufrüstung des Geräts. Dies bedeutet, dass die Maschine einfach für unterschiedliche Prozessgase, Prozessrezepte oder für die Integration neuer Ätzprozesse rekonfiguriert werden kann. Insgesamt ist LAM RESEARCH Kiyo45 Poly ein hochgenaues und zuverlässiges Ätz- und Aschewerkzeug für die Halbleiterindustrie, das eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Profilsteuerung bietet. Mit seiner Hochgeschwindigkeitsätzfunktion und seinen Atmosphärendruckfähigkeiten eignet sich dieses Gut für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Hochpräzisionsätzen, über Ätzen, STI-Ätzen, Kontaktlochätzen, Passivierungsschichtätzen und Wellenleiterätzen.