Gebraucht LAM RESEARCH LF 4500 #9245075 zu verkaufen

LAM RESEARCH LF 4500 ist ein fortschrittliches Ätz-/Aschewerkzeug für reaktive Ionenätz- (RIE) und Ascheoperationen. Dieser Ätzer/Asher bietet überlegene Leistung mit fortschrittlicher Prozessflexibilität für eine breite Palette von RIE- und Ashing-Anwendungen. LF 4500 verfügt über ein robustes Design, einschließlich einer Hochgeschwindigkeits-Plasmakammer mit großer Ladelösung und schneller, präziser Rezeptsoftware. Dieser Ätzer/Ascher ist mit einem mehrzonigen Endpunktdetektor ausgestattet, der eine schnelle Kammerreinigung und effizientere Prozesse ermöglicht. LAM RESEARCH LF 4500 ist in der Lage, sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse in einem Werkzeug durchzuführen. Ätzvorgänge mit LF 4500 werden mit einem SF6- und O2-Gasgemisch durchgeführt. Die Ätzraten sind je nach Verfahrensart und verwendetem Substrat einstellbar. LAM RESEARCH LF 4500 ist in der Lage, hochpräzises Ätzen mit geringer Variabilität zu liefern. LF 4500 bietet auch eine Reihe von Ascheprozessen, einschließlich schnelles Aschen und hochpräzise Edelstahl Ascher Optionen. Dieser Ätzer/Ascher verwendet einen Whirlpool aus fluororganischem Dampf, um eine chemische Asche zu erzielen. Diese Methode bietet eine hervorragende Kontrolle der Kammerreinheit und konsistente Prozessergebnisse. LAM RESEARCH LF 4500 verfügt über ein vollständig integriertes und einfach zu bedienendes Rezept-Softwaresystem. Diese Software ermöglicht es Benutzern, schnell Rezepte für Ätz- und Ascheoperationen zu programmieren, so dass es einfach ist, gewünschte Prozessergebnisse zu erzielen. Das System enthält auch erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen für mehr Kontrolle über Ätzen und Aschen. Insgesamt ist LF 4500 ein zuverlässiges und fortschrittliches Ätz- und Aschesystem. Es bietet leistungsstarke Prozessflexibilität, präzise Ätzraten sowie schnelle Ätz- und Aschevorgänge. Mit den leistungsstarken Fähigkeiten des LAM RESEARCH LF 4500 und seiner einfach zu bedienenden Rezeptsoftware können Anwender schnell und zuverlässig überlegene Ergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen zum Schneiden, Metallisieren und Verarbeiten von Mosfet/Maskenöffnungen erzielen.