Gebraucht LAM RESEARCH Metal45 #9351454 zu verkaufen

LAM RESEARCH Metal45 ist ein CVD-Ätzer/Ascher für die Hochdurchsatzverarbeitung von Halbleiterscheiben. Metal45 bietet modernste Prozessflexibilität und ist in der Lage, sich nahtlos in eine Produktionsumgebung zu integrieren. LAM RESEARCH Metal45 Funktionen umfassen konforme Plasma-Gleichmäßigkeit, überlegene Be- und Entladefunktionen und optimierte Prozesssteuerung. Diese Fähigkeiten machen es zu einem idealen Ätzer/Ascher für das Ätzen und Aschen einer breiten Palette von Materialien wie Cu, Al, TiN und anspruchsvollere Metalle und organische. Metal45 unterstützt sowohl standardmäßige rückseitige Ätz- als auch Seitenwandätzanwendungen. Es verwendet ein Paar von unabhängig betriebenen Off-Axis-Hochdichte-Plasmaquellen, um hochgleichmäßige Ätz- und Ascheraten zu gewährleisten. LAM RESEARCH Metal45 verwendet auch eine proprietäre 3SICARD™ Ausrüstung zur Steuerung und Einstellung von Prozessparametern, die dazu beiträgt, gleichbleibend hohe Qualitätsergebnisse zu gewährleisten. Metal45 ist ein automatisiertes System mit kompakter Stellfläche. Es ist für die einfache Integration in eine Produktionslinie konzipiert und bietet eine intuitive Softwareschnittstelle für Ätz- und Ascheprozessaufbau und -überwachung. Die automatisierte Einheit ist vollständig konfigurierbar, um den Prozess der einzelnen Substratanforderungen zu optimieren. LAM RESEARCH Metal45 verfügt zudem über eine einzigartige Überätz- und Umätzfähigkeit, die eine Feinabstimmung der Prozessparameter während der Ätz- und Ascheoperationen ermöglicht. Metal45 Maschine ist so konzipiert, dass sie die Bediener in Echtzeit über das grafische Bedienfeld des Werkzeugs informiert und so die Prozessleistung leicht überwacht. Das hochmoderne Design von LAM RESEARCH Metal45 bietet zudem eine hohe Zuverlässigkeit und Prozesswiederholbarkeit und ist damit ein idealer Ätzer/Ascher für die Großserienproduktion. Darüber hinaus ist Metal45 zertifiziert und konform mit SEMI S2-0200 und dem Common Industry Standard (CIS) für High Volume Batch Etch Systeme. Abschließend ist LAM RESEARCH Metal45 ein robuster Hochdurchsatz-Ätzer/Ascher, der für eine zuverlässige, wiederholbare und genaue Verarbeitung einer Vielzahl von Materialtypen ausgelegt ist. Die fortschrittlichen Funktionen des Asset machen es ideal für die große Produktionsumgebung.