Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Speed #9293846 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Speed ist ein Ätzer/Ascher für industrielle Anwendungen. Es ist eine vollautomatische Ausrüstung, die für schnelles, genaues und wiederholbares Ätzen und Aschen von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es beinhaltet fortschrittliche Softwaresteuerungen, um eine präzise Steuerung für jeden Prozessschritt zu gewährleisten. Das System umfasst eine Verarbeitungskammer und eine Wafer-Handhabungseinheit zur Vorverarbeitung, Verarbeitung und Nachbearbeitung von Wafern mit einer Vielzahl von Stromflüssigkeiten oder Gasen. Es kann für Ätz- und Ascheprozesse von Kupfer, Aluminium oder anderen Metalllegierungen verwendet werden. NOVELLUS Concept 2 Speed ist in der Lage, Wafer bis 12 Zoll (304,8 mm) Durchmesser mit einer Oberflächenebene von durchschnittlich 0,5 µm zu handhaben. Die Wafer-Handhabungsmaschine besteht aus einer Transferkammer, einem Wafermantel und einem Kassettenlift. Die Transferkammer wird mit einem HF-Generator, der im Dach der Kammer montiert ist, und einem Kupferkrümmer, der die physikalische Isolierung der Prozeßscheiben durchführt, versorgt. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Concept 2 Speed über ein Plasma-Reinigungswerkzeug zur Verbesserung des Waferreinigungsprozesses. Es ist mit zwei HF-Generatoren ausgestattet, einem oberen für die Sputterabscheidung und einem unteren für die HF-Ätzung. Mit Hilfe von zwei Turbopumpen hält die Plasma Cleaning Asset den oberen Druck über lange Zeiträume statisch. Concept 2 Speed verfügt auch über einen Regler, der ein wesentliches Element für eine genaue Prozesssteuerung ist. Es beinhaltet eine präzise Takt-, Temperatur-, Druck-, Strom- und Spannungsregelung und sorgt für einheitliche und präzise Ergebnisse. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Speed bietet unkomplizierte und präzise Bedienelemente und eine hervorragende Anzeigetafel zur übersichtlichen Betrachtung von Prozesskammerparametern. Darüber hinaus ist es mit einem leistungsstarken softwaregesteuerten Scanner ausgestattet, so dass mehrere Wafer gleichzeitig bearbeitet werden können. Es hat die Fähigkeit, drei verschiedene Rezepte zu speichern, jeweils bis zu 256 Schritte. Dies ermöglicht Komplexität und Zeitersparnis in der Produktion. Das Endergebnis ist ein durchweg sicherer und wiederholbarer Prozess, der von einer Softwareplattform gesteuert wird.