Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #293819068 zu verkaufen

LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed
ID: 293819068
High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) System.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed ist ein Ätzer/Ascher, der für das Ätzen, Abscheiden und Reinigen von Schritten in der Halbleiterherstellung verwendet wird, mit Funktionen, die es ideal für fortschrittliche Technologien machen. Es ist ein fortschrittliches Werkzeug für reaktives Ionenätzen, chemische Dampfabscheidung, atmosphärisches Drucktrockenätzen, entkoppeltes Plasmaätzen und Reinigungsprozesse in der Halbleiterherstellung. NOVELLUS Speed nutzt zweidimensionale Parallelität, um den Durchsatz zu erhöhen und LAM RESEARCH Speed mit höherer Genauigkeit und Ausbeute im Ätz- und Abscheidungsprozess zu verarbeiten. Dieses Tool ist skalierbar, um zukünftigen technologischen Fortschritten gerecht zu werden, sodass Benutzer Hardware schnell ersetzen können, um wettbewerbsfähige Produktionsgeschwindigkeiten zu erhalten. Speed integriert die fortschrittlichste Arzneimittelformulierungstechnologie, um den Transport von Partikeln durch die Ausrüstung sicher und genau zu steuern, ohne Schadstoffe zu erzeugen. Diese Technologie ermöglicht es dem System, für den Ätz- und Abscheidungsprozess benötigte Feinpartikel zu transportieren, ohne schädliche Emissionen zu erzeugen oder Nebenprodukte mit geringen Througput-Ausbeuten zu produzieren. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed verfügt auch über eine fortschrittliche Software-Steuereinheit, die schrittweise Genauigkeit bei der Steuerung der Ätz- und Abscheideprozessparameter gewährleistet. Diese softwaregesteuerte Maschine ermöglicht es Benutzern, maßgeschneiderte Prozesse zu erstellen, um spezifische Leistungs- und Qualitätsanforderungen für verschiedene Substratmaterialien und -prozesse zu erfüllen. NOVELLUS Speed hat auch die Fähigkeit, nasse Bank-Operationen in das einzelne Vakuumwerkzeug zu integrieren, wodurch die zusätzliche nasse Bank-Verarbeitung entfällt und die Übertragung von Prozessinformationen zwischen der nassen Bank und dem Hauptkapital erleichtert wird. Diese Fähigkeit erleichtert die effizientere und kostengünstigere Ausführung von Ätz- und Abscheideprozessen. Insgesamt ist LAM RESEARCH Speed ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der aufgrund seiner zweidimensionalen Parallelität für erhöhten Durchsatz, modernster Arzneimittelformulierungstechnologie zur Steuerung des Partikeltransports und seines Softwaresteuerungsmodells für die maßgeschneiderte Prozesserstellung gut für fortschrittliche Prozesstechnologien geeignet ist. Es hat auch die Fähigkeit, nasse Bank Operationen in die Ausrüstung zu integrieren, so dass es noch effizienter und kostengünstiger.
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