Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9235078 zu verkaufen
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LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed ist ein Ätzer/Ascher für die Waferbearbeitung. Es ist eine Kombination aus zwei verschiedenen Systemen, dem LAM Etcher/Asher und NOVELLUS Asher. Diese Ausrüstung wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanforderungen zu unterstützen, einschließlich einzelner Waferschritte, Planarisierung und Dünnschichtabscheidung. Der LAM Etcher/Asher ist ein fortschrittliches Plasmaätzsystem für präzise Wafer-Strukturierung. Es verwendet eine zweistufige ICP-Quellkonfiguration, um einen Ätzprozess zu erzeugen, der sehr einheitlich und effizient ist. Dieses Gerät verwendet eine patentierte Microzone™ Ätzmaschine, um präzises, hochdurchsatzgesteuertes Ätzen mit optimaler Auflösung zu ermöglichen. Es ist für die Steuerung von Ätzparametern über alle Substrate ausgelegt, was hilft, die Gleichmäßigkeit der Prozessergebnisse zu gewährleisten. Die Ätzkammer ist sehr zuverlässig und kann eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanforderungen unterstützen. NOVELLUS Speed Asher ist ein fortschrittliches Asher-Tool, das in Verbindung mit dem LAM Etcher/Asher verwendet werden kann. Es ist darauf ausgelegt, präzise und gleichmäßige Wafer-Thermoprozesse mit möglichst schnellen Zykluszeiten bereitzustellen. Der highLAM RESEARCH Speed Gasspülprozess wird verwendet, um dünne Filme aus Siliziumdioxid auf Wafern abzuscheiden. Diese Ressource bietet schnelle und genaue Wafer thermische Verarbeitung für eine breite Palette von Wafer-Anwendungen, einschließlich Passivierung, Planarisierung und Metallisierung. Der Ascher kann auch zur Oberflächenreinigung und Reinigung von Waferoberflächen vor dem Lotreflow verwendet werden. Die Kombination aus LAM Etcher/Asher und Speed Asher bietet ein äußerst zuverlässiges, produktives Waferbearbeitungsmodell für Forschung und Produktion. Mit den schnellen Zykluszeiten von LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed Asher bietet dieses Gerät einen hohen Durchsatz, genaue Prozessergebnisse und Prozessgleichmäßigkeit. Das fortschrittliche, einfach zu bedienende Steuerungssystem sorgt für schnelle und konsistente Ergebnisse und hilft Benutzern, ihre Prozessparameter schnell einzurichten und zu optimieren. Der LAMNOVELLUS Speed Asher ist eine zuverlässige und kostengünstige Möglichkeit, Wafer für eine Vielzahl von Anwendungen zu bearbeiten.
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