Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9293848 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed ist ein Ätz- und Aschewerkzeug, das in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es wurde entwickelt, um durch den Einsatz innovativer Technologien, die eine schnellere Strukturierung ermöglichen, einen hohen Durchsatz zu erzielen. Das System nutzt einen zweistufigen Prozess zum Ätzen und Aschen, der mit einem chemischen Ätzschritt beginnt. Dabei wird in einer Vakuumkammer innerhalb der NOVELLUS Speed Plattform ein Plasma erzeugt. Dem Plasma werden dann chemische Verbindungen wie Cl2 zugeführt, was zu einem hochpräzisen Ätzprozess führt. Die geätzten Merkmale werden dann durch eine Pfostenätzschutzfolie geschützt, die nachfolgende Asche- und Strippschritte ermöglicht. Der Ascheschritt nutzt eine einzigartige, dreiseitige Kombination aus O2, He und Ar, um einen sauberen und effizienten Ascheprozess ohne übermäßigen Partikelaufbau zu liefern. Darüber hinaus ist die LAM RESEARCH Speed-Plattform in der Lage, den Druck in der Kammer zu steuern und genaue Ätz- und Aschebedingungen zu gewährleisten. Der fortschrittliche Algorithmus von Speed ermöglicht es der Plattform auch, unabhängige Entscheidungen zu treffen, wie der Druck und die Temperatur der Kammer angepasst werden können, um die Ätz- und Ascheergebnisse zu optimieren. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed eignet sich gut für eine Vielzahl von Prozessen und kann die kritischsten Anforderungen an die Halbleitermusterung erfüllen. Seine Hochdurchsatzfunktionen machen es zu einer attraktiven Option für Prozesse, die fortschrittliches Ätzen und Aschen erfordern, wie MEMS-Bauelemente, Finfield-Effect-Transistoren (FETs) und sehr große Integration (VLSI). Darüber hinaus ist NOVELLUS Speed in der Lage, verschiedene Wafergrößen, Formen und Dicken zu handhaben. LAM RESEARCH Speed ist mit einer intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet und verfügt über ein adaptives Messsystem, mit dem das Tool Echtzeit-Datenanalysen zur besseren Leistungsoptimierung bereitstellen kann. Dieses leistungsstarke Werkzeug ist auch sehr zuverlässig, mit einer niedrigen Ausfallzeit und konsistentem Waferdurchsatz. Insgesamt ist Speed ein fortschrittliches Ätz- und Ashing-System mit hohem Durchsatz und unübertroffener Genauigkeit für Musteranwendungen. Es ist eine ideale Wahl für diejenigen, die überlegene Leistung in ihren Halbleiterherstellungsprozessen benötigen.