Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9315261 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed ist ein Ätzer/Ascher, der zur Verarbeitung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Die Maschine wurde entwickelt, um hochwertige Silizium-Wafer mit ausgezeichneter Ausbeute und Leistung zu produzieren. NOVELLUS Speed verwendet hochpräzise physikalische Ätz- und chemische Abscheidungsprozesse mit hohem Durchsatz, sowohl mit nassen als auch mit trockenen Methoden. LAM RESEARCH Speed ermöglicht die effiziente Herstellung von einzelstrukturierten (oder standardmäßigen) integrierten Schaltungen, MEMs (mikro-elektromechanischen Systemen) und photonischen Bauelementen. Speed verwendet zwei Technologien für die Waferbearbeitung - physikalisches Ätzen und chemische Abscheidung. Physikalisches Ätzen ist ein Prozess, bei dem Schichten mit einer chemischen Lösung oder einem Gas weggeätzt werden, um die gewünschte Struktur zu schaffen. Chemische Abscheidung ist ein Verfahren, bei dem eine chemische Reaktion zweier Substanzen dazu führt, dass sich ein Material auf einer Oberfläche oder innerhalb einer Schicht abscheidet. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed ermöglicht die Strukturierung verschiedener Materialien und Dicken sowie die Kontrolle der Oberflächenintegrität. NOVELLUS Speed verfügt über eine hochauflösende visuelle Inspektion in der Linie, die mehrere Aspekte des Siliziumwafers visuell überprüft und misst. Dieses System bietet höhere Tageserträge, einen höheren Durchsatz, eine verbesserte Qualität und geringere Wartungskosten. LAM RESEARCH Speed umfasst auch eine programmierbare Substratträgereinheit sowie eine Substratbelastungs- und Entladeautomatisierung. Dies gewährleistet eine ordnungsgemäße Lagerung und Handhabung des Wafers und stellt sicher, dass der Wafer während der Bearbeitung nicht beschädigt wird. Geschwindigkeit ermöglicht die Prozessüberwachung mit der Verwendung einer Echtzeit-Datenerfassungsmaschine, die fast sofortiges Feedback zu Prozessverbesserungen oder Problemen bietet. Ein integriertes, integriertes Datenspeicherwerkzeug speichert alle Prozessdaten während des Laufs und bietet eine vollständige Kontrolle über den Ätz-/Abscheidungsprozess. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed bietet auch die Flexible Processing Center (FPC) -Software von LAM, die eine größere Kontrolle über Hardware- und Prozesseinstellungen mit Echtzeitanpassungen ermöglicht. Das FPC ermöglicht die Ausführung von Rezepten mit Flexibilität, wodurch eine Vielzahl verschiedener Prozesse und Anwendungen mit einer einzigen Plattform abgeschlossen werden können. NOVELLUS Speed etcher/asher ist ein hochzuverlässiges, highLAM RESEARCH Speed, kostengünstiges und präzises Werkzeug zur Herstellung von integrierten Schaltungen, MEMs und photonischen Geräten. Durch die Verwendung hochpräziser automatisierter Prozesssteuerung und fortschrittlicher In-Line-Sichtprüfungs- und Substrathandhabungstechnologien sorgt Speed für konsistente Waferqualität und Wiederholbarkeit. Die FPC-Software ermöglicht eine benutzerfreundliche Programmierung spezifischer Rezepte und Prozesssteuerungen, die eine vielseitige und effiziente Herstellung von Silizium-Wafern ermöglicht.