Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9351453 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed ist ein Ätzer/Ascher, der für die fortschrittliche Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist für einen optimalen Durchsatz ausgelegt und kann bis zu maximal 600 Wafer pro Stunde verarbeiten. Es ist ein Hochleistungs-Hochdurchsatz-Ätzer, der für die anspruchsvollsten Aufgaben in der fortschrittlichen Halbleiterbauelementverarbeitung entwickelt wurde. Die Kerntechnologie von NOVELLUS Speed etcher ist das highLAM RESEARCH Speed-Gassystem in Kombination mit seiner fortschrittlichen Plasmaquelle. Das Gassystem verwendet eine Anordnung von Gasverteilern, die eine gleichmäßige Gasverteilung über die Oberfläche des zu bearbeitenden Wafers ermöglicht, während die Plasmaquelle eine breite Palette von Gasarten und -drücken zur Auswahl hat. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzprozesses, eine Feinsteuerung seitlicher Merkmalsgrößen und eine effektive Optimierung des gesamten Werksdurchsatzes. Das Ätzverfahren basiert auf dem gleichen Prinzip wie das reaktive Ionenätzen (RIE). Die Geschwindigkeit ist mit einer Ladekammer, einer Ätzkammer, einer Plasmaquelle und einem Gassystem ausgestattet. Die Wafer werden in den Laderaum geladen, wo sie einer Vorreinigung und Vorbehandlung unterzogen werden, um die Waferoberfläche für die Verarbeitung vorzubereiten. Nach dem Vorreinigungs- und Vorbehandlungsvorgang werden die Wafer in die Ätzkammer überführt, wo ein Reaktionsgas in sie eingespritzt wird. Der in der Kammer verwendete Druck- und Gastyp wird gesteuert, um gewünschte Ätzergebnisse zu erzielen. Das Plasma wird dann in der Ätzkammer zur Einleitung des Ätzprozesses erzeugt und die erhitzten Reaktionsgasmoleküle reagieren mit der Waferoberfläche zu dünnen Oberflächenfilmen, die dann weggeätzt werden. Der Ätzer verfügt auch über mehrere Steuerschnittstellenmodule wie ein In-situ-Kammerdiagnosepaket, manuelle Überschreibung und erweiterte Benutzersteuerung, um optimale Ätzergebnisse zu gewährleisten. Die Möglichkeit, den gesamten Prozess von der Vorreinigung und Vorbehandlung bis zum Ätzen zu überwachen und zu steuern, ermöglicht maximale Prozessgleichmäßigkeit und minimale Ausflüge. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed Etcher hat sich als effektive, zuverlässige und erschwingliche Ätzlösung für hohe Serienproduktion erwiesen. Seine Flexibilität und benutzerfreundliche Bedienoberfläche machen es zu einem idealen Werkzeug für Hersteller, die die Herstellungskosten niedrig halten und den Produktionsdurchsatz hoch halten möchten. Ob zum Tiefätzen von Geräten oder zum einfachen Planarisieren und chemisch-mechanischen Polieren, NOVELLUS Speed Etcher liefert die besten Ergebnisse.