Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293625417 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme ist ein Ätzer und Ascher, der Plasmabearbeitung, fortschrittliches Kammerdesign und elektrostatisch abgeschirmte Jig-Technologie kombiniert, um Flexibilität, Leistung und Produktivität zu liefern. Mit hervorragender Prozesssteuerung und Konfigurierbarkeit ist NOVELLUS Vector Extreme ideal für Front-End und Back-End-Halbleiterherstellungsprozesse. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME hat ein 600mm hohes Seitenverhältnis und eine 6-Zonen-symmetrische Kammer mit einer niedrigen Elektrodenleistung, die eine verbesserte dielektrische Gleichmäßigkeit und Ätzprofilsteuerung bietet. Es verwendet auch eine einzigartige induktiv gekoppelte Hochfrequenz-Plasmaquelle (ICP), um eine ausgezeichnete Ätzratengleichförmigkeit, Wirtschaftlichkeit und minimiertes Sputtern zu erreichen. LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME verwendet auch eine einzigartige Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR) -Quelle für maximale Gleichmäßigkeit und Ätzfrequenz. Die ECR-Quelle hilft, Lichtbogenstecker in Berührungsgeräten und integrierten Schaltungen zu minimieren und Nebenprodukte zu reduzieren und die Materialeigenschaften zu verbessern. Vector Extreme verfügt außerdem über eine elektrostatisch abgeschirmte Dual-Siliziumkarbid-Vorrichtung mit bidirektionaler Jig-Rotation, die Verunreinigungen minimiert. LAM RESEARCH Vector Extreme hat auch einen einstellbaren Druck und eine variable Fluenzsteuerung und kann mit der richtigen Prozessabstimmung einen Weltklasse-Durchsatz und ausgezeichnete Erträge liefern. Es ist ideal zum Abscheiden, Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Silizium, Kupfer, Germanium, Silizide, Wolfram und Nitrid. Mit fortschrittlicher Steuerungssoftware kann VECTOR EXTREME einfach abgestimmt und überwacht werden, um optimale Prozessstabilität, Kontrollsollwerte und Profilierung zu gewährleisten, Ausfallzeiten zu minimieren und Erträge zu verbessern. NOVELLUS VECTOR EXTREME ist aufgrund des verbesserten Durchsatzes und der hervorragenden Prozesskontrolle eine ideale Ätz- und Aschelösung für Anwendungen mit hohem Volumen.