Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767046 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme ist ein Ätz-/Aschewerkzeug, mit dem präzise, dimensionale Formen in einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Photoresists, Metallen und Oxiden erzeugt werden. Es verfügt über eine branchenführende Genauigkeit und präzise Steuerung von Ätzprozessparametern wie Zeit, Temperatur und Gasdurchfluss. Das Gerät wurde entwickelt, um eine effiziente Verarbeitung großer Substrate bis zu einer Größe von 450 mm zu ermöglichen, und seine flexible Architektur ermöglicht eine schnellere Rezepturentwicklung und -ausführung. Das System besteht aus einer Reihe von Schlüsselkomponenten, darunter eine Hauptkammer, eine Ätzquelle und eine Reihe von Begleitkomponenten. Die Hauptkammer ist eine hohe Genauigkeit und Niederdruckkammer speziell entwickelt, um den Ätzprozess zu optimieren. Es besteht aus einer beheizten Innenauskleidung und leistungsstarken polykristallinen Diamantheizungen, die eine gleichmäßige Erwärmung über das gesamte Substrat ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die Kammer über eine Schnittstelle für mehrere Ätzarten (Gase, Flüssigkeiten usw.) und robuste Vakuum- und Druckregelsysteme. Die Ätzquelle ist das Herzstück der Einheit. Es enthält eine Reihe leistungsfähiger hochpräziser Hochfrequenzquellen, die hoch lokalisierte Plasmafelder erzeugen, um das Substrat genau zu ätzen. Die HF-Quellen sind mit automatisierten Tuning-Systemen verbunden, die sicherstellen, dass die Parameter des Ätzprozesses konsistent bleiben. Die zugehörigen Komponenten der Maschine umfassen verschiedene Anschlüsse zum Einbringen von Gasen, Heizelementen und eine Vielzahl von Sensoren und Aktoren, die den Druck, die Temperatur und den Durchfluss des Substrats steuern. Ein robuster Satz von Sicherheitssystemen sind auch vorhanden, um die Langlebigkeit des Werkzeugs und die Sicherheit seiner Bediener zu gewährleisten. NOVELLUS Vector Extreme ist ein leistungsstarkes Ätz-/Aschewerkzeug, das in einer Vielzahl von Substraten verwendet wird. Seine präzise Steuerung von Prozessparametern, hochgenaue Hauptkammer, HF-Quellen und zugehörige Komponenten machen es zu einem Branchenführer im Ätzen. Es ermöglicht eine schnellere Rezepturentwicklung mit einer flexiblen Architektur und ist in der Lage, präzise Formen auf großen Substraten bis zu einer Größe von 450 mm zu erzeugen. Mit robusten Sicherheitssystemen, hoher Effizienz und robuster Bauweise ist LAM RESEARCH VECTOR EXTREME eine ideale Wahl für das Ätzen/Aschen.