Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767216 zu verkaufen
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ID: 293767216
Weinlese: 2014
System
Chamber position / Gases
Unit 1 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
Unit 2 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
Unit 3 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
2014 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für fortschrittliche elektrochemische und physikalische Aufdampfanwendungen entwickelt wurde. Als perfekte Kombination aus Leistung und Qualität bietet NOVELLUS Vector Extreme einen hohen Durchsatz und eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Benutzer Rezeptparameter einfach einrichten und anpassen können. Seine Präzisionsbewegungsausrüstung und sein digitales System bieten eine überlegene Präzision und Wiederholbarkeit des Ätzprozesses und ermöglichen eine hochdichte Bildgebung auf den komplexesten Wafersubstraten. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME bietet eine überlegene Bildgebungsgeschwindigkeit mit geringer Defektivität, überlegener Morphologie und schnellen Durchlaufzeiten. Das Gerät verfügt über eine maximale Durchsatzrate von 4.200 Wafern pro Stunde und bietet eine präzise Prozesssteuerung, die es Anwendern ermöglicht, Prozessrezepte mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu implementieren. Es verfügt über eine Prozesskammer, die mehrere Prozesskonfigurationen aufnehmen kann, einschließlich Multi-Source-Ätzen, Dual-Target-Ionenmahlen und chemischer Dampfabscheidung (CVD). Um den Herausforderungen von High-End-Ätzanwendungen gerecht zu werden, wurde NOVELLUS VECTOR EXTREME mit Hochgeschwindigkeitsinjektoren mit mehreren Quellen und alternierenden Dual-Magnetron-Plasmaquellen entwickelt. Mit patentierter Kerntechnologie bietet die VECTOR EXTREME Maschine beste Ätz-/Ascherleistung. Die fortschrittliche, interaktive Echtzeit-Steuerungstechnologie des Tools bietet schnelle Reaktionszeiten und die Möglichkeit, kritische Parameter wie Frequenz und Arbeitszyklus on-the-fly anzupassen. Sein Bewegungselement mit offener Schleife ermöglicht die Positionierung von kinematischen Komponenten innerhalb von ± 0,25 µm und sein integriertes Vision-Modell sorgt für eine hohe Genauigkeit bei der Positionierung von Zielen in der Kammer. Die VCA (vision based control and analysis software) ermöglicht es Benutzern, Prozessparameter mit Leichtigkeit zu verwalten, und die fortschrittliche Automatisierungssoftware des Geräts ermöglicht es Benutzern, komplexe Rezepte schnell und effizient zu erstellen und zu implementieren. LAM RESEARCH Vector Extreme System verfügt auch über erweiterte Überwachungs- und Diagnosefunktionen, die Betriebszeit und Prozessqualität gewährleisten. Mit integrierten Prozessüberwachungsfunktionen bietet das Gerät sofortiges Feedback zur Kammerleistung, während die intuitive Benutzeroberfläche ein benutzerfreundliches Setup und Rezept-Management bietet. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME Maschine konform mit allen Halbleitersicherheitsvorschriften und bietet eine sichere Arbeitsumgebung für Betreiber. Abschließend bietet Vector Extreme Ätzer/Ascher eine hervorragende Leistung und Qualität in einem äußerst zuverlässigen und einfach zu bedienenden Paket. Die fortschrittliche Echtzeit-Steuerungstechnologie, die schnellen Reaktionszeiten und das präzise Bewegungswerkzeug ermöglichen es Benutzern, komplexe Strukturen mit Geschwindigkeit und Genauigkeit zu fertigen, was es zu einer idealen Lösung für fortgeschrittene Ätzanwendungen macht.
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