Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9099744 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der mit der plasmabasierten reaktiven Ionenätztechnologie (RIE) Wafer mit hochpräzisen Ätz- und Körpervorspannungsanwendungen verarbeitet. Das Gerät bietet eine lineare Ätzsteuerung mit hoher Präzision und Gleichmäßigkeit und ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen, Temperaturen und Umgebungen zu handhaben. NOVELLUS Vector Extreme ist für den Einsatz in Reinraumumgebungen konzipiert und besteht aus zwei getrennten Teilsystemen, die unabhängig voneinander arbeiten, um höchste Ätzgenauigkeit und -genauigkeit zu gewährleisten. Das erste Teilsystem ist das Plasma Source System, das das reaktive Ionenätz- (RIE) Plasma erzeugt, um die Wafer nahezu perfekt zu ätzen. Das zweite Teilsystem ist die Gas Delivery Unit, die präzise dosierte Gemische aus Ätz- und Reinigungsgasen für eine optimale Ätzverarbeitung bereitstellt. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME beinhaltet auch einen hohen Automatisierungsgrad, der es dem Benutzer ermöglicht, die Parameter des Ätzprofils an bestimmte Anforderungen anzupassen. Darüber hinaus wird die Maschine entwickelt, um Partikelverunreinigungen für maximale Zuverlässigkeit und Prozesskontrolle zu minimieren. NOVELLUS VECTOR EXTREME ist in der Lage, die Prozesswiederholbarkeit besser als 1% und eine minimale Linienbreite von bis zu 30 nm zu erreichen, ideal für skalierte Lithographieanwendungen. Mit seinem robusten Design und seinen hervorragenden Fähigkeiten ist VECTOR EXTREME eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Körpervorspannungsaufgaben in einer Vielzahl von Reinraumumgebungen.