Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9270881 zu verkaufen
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LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme ist ein Ätzer und Ascher, der speziell für die moderne Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Es ist das führende Mehrstationen-Plasmaätzwerkzeug für fortgeschrittene Halbleiter. Das Design von NOVELLUS Vector Extreme ist für Präzision und hohen Durchsatz optimiert. Es verfügt über eine flexible und konfigurierbare Architektur, die sowohl für vertikale als auch horizontale Ätz- und Ascheanwendungen verwendet werden kann. Diese Flexibilität ermöglicht die Anpassung der Geräte an die Zielspezifikationen für eine bestimmte Anwendung. Sein hochauflösendes optisches System ermöglicht eine präzise Kontrolle des Plasmas und ermöglicht präzise Ätz- und Ascheprozesse. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME ist mit einem Hochleistungs-HF-Induktionsgenerator ausgestattet, der eine stabile und wiederholbare Plasmabearbeitung bietet. Seine erweiterte Vektorierungsfunktion ermöglicht eine schnelle und genaue Ausrichtung des HF-Generators auf die Waferstufe, was zu verbesserten Verarbeitungserträgen führt. Die Vektoriereinheit sorgt auch für eine konsistente Platzierung von Partikeln und anderen Verunreinigungen im Plasma, wodurch ungleichmäßige Ätz- und Ascheergebnisse verhindert werden. VECTOR EXTREME ist auch mit einem Gasmischpult ausgestattet, das eine präzise Abstimmung der Betriebsparameter für jedes bestimmte Ätz- und Ascherezept ermöglicht. Diese Maschine hilft, wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. Zusätzlich kann die Gasmischstation zur Überwachung der Reinheit der im Plasmagenerator verwendeten Gase und zur Diagnose von Problemen, die bei der Verarbeitung auftreten können, verwendet werden. LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME bietet mit seinem automatisierten Selbstreinigungswerkzeug auch eine schnelle und einfache Wartung. Dieses Asset wurde entwickelt, um Ausfallzeiten zu reduzieren und die Zuverlässigkeit und Leistung des Modells zu verbessern. Schließlich ist LAM RESEARCH Vector Extreme mit einer Vielzahl fortschrittlicher Sensoren und Controller kompatibel, sodass Benutzer die Geräte an ihre spezifischen Prozessanforderungen anpassen können. Abschließend ist NOVELLUS VECTOR EXTREME ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der entwickelt wurde, um hochpräzise und durchsatzstarke Halbleiterherstellungsprozesse zu ermöglichen. Seine fortschrittlichen Funktionen wie Vectoring, schnelle Wartung und Gasmischung sorgen für wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse. Sein hochauflösendes optisches System ermöglicht eine präzise Steuerung des Plasmas für präzise Ätz- und Ascheprozesse. Schließlich hilft seine Kompatibilität mit einer Vielzahl von Controllern und Sensoren Anwendern bei der Anpassung der Einheit an ihre Prozessanforderungen.
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