Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9294398 zu verkaufen
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ID: 9294398
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
CVD System, 12"
Process: SiN / SiO
2010 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme ist eine Metallätzmaschine für präzise Ätz- und Glühoperationen. Es ist ideal für die Erstellung von Komponenten mit Micro-Detail-Anforderungen für fortschrittliche Halbleiterverpackungen und Bauteilherstellung. NOVELLUS Vector Extreme ist ein vollautomatisches Gerät, das vier unabhängige Wafer-Scan-Stufen in einem einzigen System verwendet und es ermöglicht, bis zu vier Wafer gleichzeitig zu bearbeiten. Es ist in der Lage, Metalle wie Aluminium, Kupfer, Wolfram und Titan mit unübertroffener Wiederholbarkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu ätzen. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME verwendet einen leistungsstarken, 8-achsigen Roboterarm, der in der Lage ist, Schichten mit Toleranzen bis zu einem Hundertstel Mikron zu glühen und zu ätzen und sich bis zu 3 nm Seitengeschwindigkeit zu bewegen. Dadurch kann die gewünschte Schicht schnell und präzise hergestellt werden, wobei die darunter liegenden Schichten minimal beschädigt werden. Seine Wiederholbarkeit und präzise Steuerung des verdampften Metalls machen es zu einer zuverlässigen Option für Mikroverpackungen. LAM RESEARCH Vector Extreme ist mit einer funktionsreichen Benutzeroberfläche ausgestattet, die umfassende Informationen für Einrichtung, Betrieb und Überwachung der Maschine liefert. Diese benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht es Benutzern, alle Stufen der Ätz- und Glühprozesse einschließlich der Kühlstufe zu überwachen, um konsistente und zuverlässige Produktionsergebnisse zu gewährleisten. LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME verwendet eine einzigartige verdampfte Metallabwassersteuerung, die eine saubere und konforme Betriebsumgebung gewährleistet. Das verdampfte Metallabwasser wird mit mehreren Filtersystemen gefiltert, die alle partikulären und gasförmigen Verunreinigungen aus der Luft entfernen, was das Risiko von Gesundheits- und Umweltproblemen im Zusammenhang mit dem Ätz- und Glühprozess verringert. VECTOR EXTREME basiert auf der DRAM600 CE-Plattform, die eine zuverlässige Bedienung und Skalierbarkeit für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Diese Plattform bietet Redundanz, um einen zuverlässigen Betrieb in den anspruchsvollsten und feindseligsten Umgebungen zu gewährleisten. Es ist RoHS-konform und kann mit anderen Komponenten produzierenden Systemen integriert werden, um eine komplette Maschine zu schaffen, die eine schnelle und zuverlässige Fertigung für eine Vielzahl von Halbleiter- und industriellen Anwendungen bieten kann. Vector Extreme ist ein Hochleistungs-Ätz- und Glühwerkzeug, das Kunden eine unglaubliche Präzision und Wiederholbarkeit in einem zuverlässigen und kostengünstigen Paket bietet. Seine Flexibilität, Genauigkeit und komplette Verpackung macht es zur perfekten Lösung für jeden Ätz- und Glühbetrieb.
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