Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9301496 zu verkaufen

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme
ID: 9301496
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
PECVD System, 12" Silane 2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme ist ein Ätzer/Ascher, der mit proprietären Prozesssteuerungsalgorithmen entwickelt wurde und eine optimale Ätz-/Ascheleistung für erweiterte Speichergeräte bietet. Dieses Gerät ist kompatibel mit den neuesten Generationen von Photomasken und kann Materialien wie Silizium, Low-K-Dielektrika und III-V-Materialien behandeln. NOVELLUS Vector Extreme verfügt über eine neuartige Analysatoranwendung zur Identifizierung und Charakterisierung von Ätz-/Ascheprozessen. Dazu gehört ein patentiertes Analysefenster, mit dem Benutzer die optimalen Ätz-/Ascheparameter genau bestimmen können. Es enthält auch ein modernes Active Gas Control System, das die Plasmaperformance überwacht und die Gasdurchflussraten anpasst, um den Ätz-/Ascheprozess zu optimieren. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME arbeitet durch plasmaunterstütztes Ätzen, das ein chemisch reaktives Gasgemisch verwendet, um Materialschichten wegzuätzen. Seine hochmoderne Plasmaquelle erzeugt ein Hochleistungsplasma, um einen reibungslosen, konsistenten Ätz-/Ascheprozess zu gewährleisten. Seine schnelle Zykluszeit ermöglicht eine Serienfertigung in kürzerer Zeit, während seine Low-K-Reflow-Technologie für die bestmögliche Ätz-/Ascheleistung bei minimalen Schäden durch thermische Ausdehnung und Schrumpfung sorgt. LAM RESEARCH Vector Extreme verfügt auch über eine neuartige Predictive Performance Unit-Technologie, mit der Benutzer ein gewünschtes Muster eingeben und die Ätz- und Ascheergebnisse vor der Verarbeitung genau vorhersagen können. Diese Maschine lernt aus vergangenen Ätz-/Ascheschritten, um Prozesse für eine bessere Leistung zu optimieren. LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME wurde für maximale Verarbeitungsgeschwindigkeit und Genauigkeit entwickelt. Es verfügt über eine große Bearbeitungskammer, die das gleichzeitige Ätzen und Aschen mehrerer Wafer-Chargen ermöglicht. Es kann auch mit anderen Werkzeugen verbunden werden, um den Durchsatz und die Nutzung des Werkzeugs zu verbessern. Vector Extreme ist vollautomatisiert und verfügt über integrierte Sicherheits- und Sicherheitssysteme. Es unterstützt Fernüberwachung, Warnung und Ferndiagnose. Es ist auch in der Lage, sich automatisch mit Software-Fixes zu aktualisieren, um die höchstmögliche Leistung während seiner gesamten Lebensdauer zu gewährleisten.
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