Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9227340 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector ist ein fortschrittliches Ätz-/Ascherwerkzeug, das in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Es ist eine Umweltprozesskammer, die ein hochpräzises Plasmaätzen von Substraten wie Quarz, Silizium und bestimmten Metallen ermöglicht. NOVELLUS Vector verfügt über zwei Plasmaquellen: eine Standardquelle, das ist ein 13,56 MHz HF-Generator, und eine optionale, schaltbare Quelle, die eine niederfrequente HF-Stromquelle ist. Diese beiden Plasmaquellen ermöglichen das Ätzen einer Vielzahl von Materialien mit unterschiedlichen Ätzchemien. Es verfügt auch über eine Hochleistungs-Schnellglühkammer (RTA), die eine schnellere thermische Behandlung von Substraten ermöglicht. LAM RESEARCH Vector hat mehrere Funktionen, die es zu einem vielseitigen Ätzwerkzeug machen. Sein vertikales Design bietet eine einheitliche Ätzumgebung, während seine selbstjustierende Stufe verwendet wird, um für verschiedene Substratmorphologie auszurichten und anzupassen. Es ist auch mit automatisierten Ventilen ausgestattet, um verschiedene Verarbeitungschemien zu maximieren, sowie Präzisionsbewegungsregler, um den Wafer auf die Zielätztiefe auszurichten. Darüber hinaus ist Vector mit einem ausgeklügelten Scan-Algorithmus ausgestattet, um Prozesszeit und -tiefe genau zu steuern. Die automatisierte Be- und Entladung des Wafers erleichtert auch die Bedienung. Die erweiterten Ätzfähigkeiten von LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector machen es zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Projekten. Es bietet eine optimale Ätzqualität mit seiner Kombination aus Genauigkeit und Kontrolle. Seine selbstregulierende Plasmaquelle ermöglicht es dem Bediener auch, die Ätzdichte und Rezepturen einfach anzupassen und effiziente und effektive Verarbeitungsergebnisse zu liefern. Darüber hinaus ermöglichen seine schnellen thermischen Verarbeitungsmöglichkeiten einen kompakten Bearbeitungszyklus und sorgen dafür, dass Substrate schnell für den nächsten Prozess bereit sind. Insgesamt ist NOVELLUS Vector etcher/asher ein benutzerfreundliches, hochentwickeltes Ätzsystem. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Halbleiterherstellungsprojekte aufgrund seiner hochpräzisen Plasmaätzfähigkeiten kombiniert mit schnellem thermischem Glühen und automatisiertem Wafer-Handling. Seine vielseitigen Eigenschaften machen LAM RESEARCH Vector zu einem unglaublich zuverlässigen und effektiven Ätzwerkzeug.