Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235071 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector ist eine fortschrittliche multifunktionale Ätzer-Ascher-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um verschiedene Materialien genau und effizient zu ätzen und zu mustern. Das System nutzt eine Kombination aus Hardware- und Softwarekomponenten, um die Verarbeitung zu steuern und die gewünschten Prozessparameter beizubehalten. Die Hardware besteht aus einem Großrechner, Computerarbeitsplätzen, Netzteilen, programmierbaren Luftversorgungsmonitoren, Vakuum- und Gasreglern, einer Ultrahochvakuumquelle und mehreren Verarbeitungskammern. Die Software-Suite ermöglicht es Benutzern, eine Reihe von Anweisungen zur Steuerung der Verarbeitung und zur Feinabstimmung des Ätzprozesses zu entwickeln. NOVELLUS Vector verwendet die reaktive Ionenstrahl-Ätztechnologie, eine Methode zum Ätzen, bei der ein Ionenstrahl verwendet wird, um Moleküle aus dem Zielmaterial zu verdampfen. Die Ionen im Strahl werden zum Target hin beschleunigt, wo sie in seiner Oberfläche absorbiert und dann in die Gasumgebung der Ätzkammer abgegeben werden. Die reaktiven Ionen im Gas reagieren mit dem Material, was zu dem gewünschten Muster bzw. der gewünschten Form aus dem Zielmaterial führt. Die Steuereinheit ermöglicht es Benutzern, bestimmte Prozessparameter wie Gasdurchfluss, Druck und Temperatur einzustellen, was zu der erforderlichen Ätztiefe und -breite führt. Beim Ätzen von hochauflösenden Mustern auf Materialien verwendet LAM RESEARCH Vector machine eine Lithographiekammer, in der ein Muster oder eine Maske auf dem Substrat platziert und einem Hochleistungslaser ausgesetzt wird. Das Substrat wird in einem präzisen Muster unter den Laser bewegt, das durch die Programmanweisungen des Steuerwerkzeugs bestimmt wird. Nach Belichtung des Musters wird mit dem reaktiven Plasmaätzprozess die ungeschützten Bereiche des Substrats weggeätzt. Vektor Asset kann Substrate mit x-y Auflösungen von bis zu 50 Nanometern oder mehr ätzen, je nach Material und Substrateigenschaften. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector-Modell verfügt über mehrere Sicherheitsfunktionen, um die Betreiber und diejenigen in der unmittelbaren Nähe der Ausrüstung zu schützen. Dazu gehören Schutzgehäuse rund um die Ausrüstung, Alarme und Sicherheitsverriegelungen, die den Prozess stoppen, wenn Bedingungen außerhalb der Sicherheitsgrenzen erkannt werden. NOVELLUS Vector ist ein zuverlässiges System und ein bewährtes Arbeitstier für verschiedene Anwendungen, von der Oberschichtmetallisierung bis zu 3D-Strukturen. Es ist eine effiziente und kostengünstige Wahl für das Ätzen und die Verarbeitung von Materialien für viele Branchen.