Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235073 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector ist ein Ascher/Ätzer für Halbleiteranwendungen. Es ist ein leistungsstarkes Tool, das fortschrittliche Plasmaätztechnologien und eine modulare Architektur bietet, die sowohl Flexibilität als auch Skalierbarkeit bietet. NOVELLUS Vector nutzt eine hocheffiziente Multi-Magnetron-Quelle, um eine optimale Plasmaprofil-Gleichmäßigkeit zu erreichen. Seine Drei-Kammer-Architektur ermöglicht schnelle Wafer-Prozessänderungen (HDP-PR). LAM RESEARCH Vectors High-Speed Electrostatic Chuck (ESC) Wafer Handling Equipment ermöglicht eine verbesserte Ätzgleichmäßigkeit und Durchsatz. Das ESC-System verfügt auch über einen Neigungsmechanismus, der eine verbesserte Parallelität des Wafers beim großflächigen Ätzen ermöglicht. Vector verfügt auch über eine umfassende Endpoint (EPD) -Erkennungseinheit, die Variabilität in Ätzrate und Endpunktgenauigkeit überwacht. Um CHF3 Ätzrate und Selektivität zu verbessern, verwendet LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector eine fortschrittliche Gasfördermaschine, die einen Gaseinführungskrümmer und schnell pulsierende Gasverschlüsse enthält. Die automatisierte Gaspanel-Programmierung von NOVELLUS Vector sorgt dafür, dass optimale Ätzprozesse schnell angewendet werden können. Das CCD-basierte Sichtwerkzeug von LAM RESEARCH Vector, sowohl von der oberen als auch von der unteren Oberfläche des Wafers, hat eine hohe Identifikationsgenauigkeit und Auflösung. Dieses Dual-View-CCD-Asset bietet eine genaue Ätzpositions- und Ätzflächenmessung für Front- und Back-Etches. Vector umfasst auch eine robuste Modellüberwachung, die eine schnelle Wartung und Umweltdatensammlung und -analyse ermöglicht. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector erweiterte Hardware- und Softwarestufen für Diagnosefunktionen, einschließlich einer breiten Palette von externen Diagnosen. Dadurch können Benutzer alle Prozessprobleme schnell identifizieren und lösen. NOVELLUS Vector wurde erfolgreich in einer Vielzahl von Lithographie-, Ätz- und Abscheidungsprozessen eingesetzt. Durch die Verwendung der erweiterten Funktionen von LAM RESEARCH Vector können Benutzer den Ätzer sowohl für komplexe als auch für einfache Prozesse in Serienproduktionslinien verwenden. Vector bietet Kunden höchste Flexibilität, hohen Durchsatz und verbesserte Prozesskontrolle.