Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235161 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector ist ein Ätz-/Aschewerkzeug (oder CMP-Ausrüstung (Chemical Mechanical Planarization)), das zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben verwendet wird. Es ist für hohe Durchsatzleistung mit einer breiten Palette von Prozessmodulen konzipiert, die einfach in eine Produktionslinie integriert werden können. NOVELLUS Vector verfügt über einen zweistufigen Prozess. In der ersten Stufe werden zur Entfernung der Deckschichten des Wafers ein Oxidator und ein Ätzmittel verwendet. In der zweiten wird ein hochdichtes Plasma (HDP) verwendet, um die Oberfläche mit einer viel höheren Geschwindigkeit und Auflösung als herkömmliche naßchemische Prozesse zu ätzen. LAM RESEARCH Vector System ist für maximale Optimierung der Prozesseffizienz und Verfügbarkeit ausgelegt. Es verfügt über einen linearen Prozessor, der negative Auswirkungen auf die Prozessleistung und -geschwindigkeit verringern kann. Es ist in der Lage, Prozessbedingungen mit einstellbaren Parametern zu steuern, was eine größere Flexibilität bei Prozessparametern ermöglicht. Vector verfügt auch über eine einzigartige Gehäuseeinheit, die eine sauberere Prozessumgebung bietet und höhere Treue ermöglicht. Darüber hinaus verwendet LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector einen einzigen Wafer-Ansatz, der die Batch-Verarbeitung überflüssig macht. Beeindruckend sind auch die hochmodernen Mess- und Steuerungsmöglichkeiten von NOVELLUS Vector. Es verfügt über einen zweistufigen Prozessmonitor, der die Prozesskontrolle und Prozessstabilität beim Ätzen verschiedener Schichten verbessert. Es umfasst auch eine fortschrittliche automatisierte Ausrichtung, um die Gleichmäßigkeit über den Wafer zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Vector über einen automatisierten Analysator, der den Ätzprozess überwachen und Feedback zur Prozessoptimierung liefern kann. Insgesamt ist Vector eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine für hohe Durchsatzleistung. Sein innovatives Design ermöglicht maximale Prozesseffizienz und Betriebszeit sowie erweiterte Mess- und Steuerungsfunktionen. Es ist ein ideales Werkzeug für die Halbleiterindustrie und kann jeder Waferbearbeitungsanlage einen Wettbewerbsvorteil bieten.