Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235239 zu verkaufen

Der LAM LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector ist ein Ätz- oder Aschewerkzeug für die Halbleiterherstellung. NOVELLUS Vector wurde entwickelt, um nicht nur Ätz- oder Ashing-Anwendungen durchzuführen, sondern auch einen kompletten Prozess-Workflow zu optimieren. Das Gerät verfügt über Möglichkeiten zum präzisen dielektrischen Ätzen und zur Oxidabscheidung für eine hochwertige Gerätebearbeitung. Mit einer modularen, kompakten Bauweise ermöglicht LAM RESEARCH Vector schnelle, wiederholbare Prozesse für kleine Produktionsläufe. Es ist extrem zuverlässig, mit einem hohen Maß an Gießereileistung und Durchsatz. Das System bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Präzision mit sehr engen Prozessfenstern und ist damit das ideale Werkzeug in einer Reihe von Prozessrezepten, einschließlich hoher K-dielektrischer Ätzung, lokaler Verbindungsätz- oder Kupferspalt-Füllstoffätzanwendungen. Darüber hinaus machen die robusten Verarbeitungsfähigkeiten von Vector es zu einem optimalen Werkzeug für flüchtige Materialien, wie hohe K-dielektrische Ätzung oder abgeschiedene Oxide, innerhalb des Service-Clusters. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector integriert NOVELLUS Vector Control und eine einzigartige Strahlplasmaquelle, um eine überlegene Ätzratenkontrolle, Gleichmäßigkeit und Präzision zu ermöglichen. Das Gerät verfügt zudem über eine verbesserte Prozessautomatisierung, die schnelle Reaktionen auf sich ändernde Produktionspläne ermöglicht. Es bietet robuste Prozesssicherheitsfunktionen, um potenzielle Saboteure abzuschrecken, und sein fortschrittliches Tunnel- und Schieberegler-Design bietet einen verbesserten Durchsatz und Ertragsleistung. Mit der erweiterten Integration von Prozessmanagement-Tools bietet LAM RESEARCH Vector maximale Flexibilität und Kontrolle über wichtige Verarbeitungsparameter. Vector enthält auch erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, um eine optimale Prozessgenauigkeit und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Es umfasst universelles Rezeptmanagement und erweiterte messtechnische Funktionen. Die messtechnischen Fähigkeiten bieten eine breite Palette von Parametern, um Prozessgenauigkeit und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Die Maschine bietet schnelle Programmierbarkeit für schnelle, wiederholbare Prozessoptimierung und hohe Produktivität. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, um Betreiber und kritische Geräte vor potenziellen Gefahren zu schützen. Das Tool verwendet eine Kombination aus Containment und lasersicheren Technologien, um eine sichere Wafer-Bearbeitungsumgebung zu gewährleisten. Schließlich ist NOVELLUS Vector mit intuitiver Benutzererfahrung im Auge, so dass es einfach zu programmieren und zu bedienen.