Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9244820 zu verkaufen
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ID: 9244820
Weinlese: 2009
CVD System
Front PC
Chase PC
Transformer
Part box
2009 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector ist ein All-in-One-Ätzer/Ascher, der speziell für die Verarbeitung anspruchsvollster, modernster Technologien entwickelt wurde, die präzises, zuverlässiges Ätzen und/oder Aschen erfordern. NOVELLUS Vector verwendet eine Revolutionary Automation Control Equipment (RACS), um sicherzustellen, dass jeder Prozess für kritische Spezifikationen gesteuert wird. Dies sorgt für einheitliche und wiederholbare Ätz- und Ascheergebnisse für jeden Zyklus. LAM RESEARCH Vector ist mit einem leisen, schwingungsarmen, partikelgesteuerten Vakuumsystem und einer hocheffizienten entfernten Plasmaquelle ausgestattet, die eine schnellere Verarbeitung ermöglicht. Es verfügt über eine schnelle, präzise Schritt- und Galvanometer-basierte integrierte Bewegungssteuerung zur Reduzierung der Ätzzeit bei Beibehaltung einer hohen Genauigkeit sowie einen modularen, robotertypischen Endeffektor, der die Ätzraten und Erträge erheblich erhöht. Vector ist auch mit einer leistungsstarken, aber extrem genauen Strahlausrichtungsmaschine ausgestattet, um eine enge Verfolgung der Eigenschaften auch auf den kompliziertesten Mustern zu gewährleisten. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector ist mit fortschrittlichen Sicherheitssystemen ausgestattet, um sicherzustellen, dass alle empfindlichen Komponenten unbeschädigt bleiben und das Personal immer geschützt ist. Es verfügt über ein leistungsstarkes Beleuchtungswerkzeug, das eine einfache Musteransicht während des Betriebs ermöglicht, sowie eine Echtzeit-Prozessüberwachung, die zur Überprüfung auf Werkzeugschäden und Verunreinigungen verwendet werden kann. NOVELLUS Vector ist zudem mit einem Trendanalyse- und Datenerfassungsmodul ausgestattet, um sicherzustellen, dass jede Schicht nach den vorgegebenen Spezifikationen geätzt wird. Die Flexibilität von LAM RESEARCH Vector macht es für eine Vielzahl von Ätzlösungen geeignet. Seine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) und integrierte Netzwerkfunktionen machen es einfach, Aufträge von einem Tool zum anderen zu konfigurieren und zu übertragen. Das offene Architekturdesign von Vector stellt sicher, dass es vollständig mit allen verfügbaren Software einer Vielzahl von Anbietern kompatibel ist. Auf diese Weise kann der Benutzer benutzerdefinierte Prozessabläufe und Ebenenkombinationen konfigurieren und einrichten sowie vorhandene Auftragssätze aus jedem anderen Modell integrieren. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector in der Lage, eine Vielzahl von aufgabenspezifischen Funktionen auszuführen, wie Vorspannung, Ionenfräsen, Tiefensieben, Kohlenstoff-Nanoröhrenätzen und Hochformatätzen. Die Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie eine sehr niedrige Betriebskosten bietet. Durch den Einsatz einer einzigen Plattform und einer integrierten Kammer können Investitionskosten gesenkt und die Prozessausbeute verbessert werden. Schließlich ist NOVELLUS Vector eines der zuverlässigsten und kostengünstigsten Systeme auf dem Markt, was es zu einer idealen Lösung für jedes Unternehmen macht, das sein Ätzen und Aschen auf das nächste Level heben möchte.
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