Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9244876 zu verkaufen
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ID: 9244876
Weinlese: 2003
CVD System
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2003 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector ist eine Ätz-/Aschemaschine, die für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist ein Hochleistungssystem, das für Wafer-Fertigungsanwendungen entwickelt wurde. Das Gerät ist für Serienanlagen ausgelegt, die präzise und zuverlässige Plasmaätz- und Ascheprozesse ermöglichen. Es hat eine fortgeschrittene Singleoblatensubstratverarbeitungsstation mit einer ergonomischen Benutzerschnittstelle und ist dazu fähig, ein großes Angebot an Oblatengrößen zu behandeln und Gase zu filtern. NOVELLUS Vector machine verwendet ein einzigartiges CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition), um Halbleiteroberflächen zu ätzen und zu reinigen. Das CVD-Verfahren verwendet eine Kombination von Gasen in einer eng kontrollierten Umgebung, um dünne Materialschichten über der Oberfläche des Wafers abzuscheiden. Dieses Verfahren führt zu einer hochwertigeren Grenzfläche zwischen Wafer und Substrat, mit glatteren Oberflächen und weniger Defekten. Das Tool verfügt über einen modularen Aufbau, der eine einfache Skalierbarkeit und Integration neuer Funktionen ermöglicht. Seine fortschrittliche Gaskontrollanlage bietet überlegene Stabilität und Kontrolle von Prozessparametern bei gleichzeitiger Minimierung von Ausfallzeiten. Dieses Modell bietet auch eine unabhängige Heizungssteuerung, die eine größere Kontrolle über die Prozesstemperaturstabilität ermöglicht. Das System verfügt über eine vielseitige Hardwarekonfiguration mit mehreren optischen Komponenten für die hochauflösende Bildgebung sowie ein einheitliches Abscheidemodul für konsistente Ergebnisse. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von Sensoren für die Prozessüberwachung und -steuerung, um die Prozesseffizienz und -qualität zu erhalten. LAM RESEARCH Vector Maschine hat mehrere deutliche Vorteile gegenüber konkurrierenden Systemen, wie seine große Reichweite und hohen Durchsatz. Darüber hinaus sind seine erweiterten Fähigkeiten für die Verarbeitung und Abscheidung von Substraten ideal für eine Vielzahl von Halbleiterherstellungsanwendungen. Schließlich ermöglicht sein flexibles Design eine einfache Integration in verschiedene Arten von Produktionslinien und Prozessen.
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