Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9378180 zu verkaufen

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector
ID: 9378180
Wafergröße: 12"
CVD System, 12" Process: TEOS (2) APF RPSA.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die für die Herstellung von großvolumigen Wafern entwickelt wurde. Es wird in Fertigungsanlagen für die High-Tech-Chipherstellung verwendet; NOVELLUS Vector arbeitet mit anderen Ätzwerkzeugen zusammen, um verschiedene Schichten eines Wafers oder Chips zu definieren, zu formen und zu reinigen. LAM RESEARCH Vector verwendet Plasmen auf Fluorbasis, um dünne Schichten aus Silizium, Kupfer und anderen Materialien zu ätzen und zu reinigen. Es ist in der Lage, verschiedene, genauere und detailliertere Ätzoperationen im Vergleich zu seinen Gegenstücken durchzuführen. Es verwendet fortschrittliche Technologien wie Helium-Enhanced Plasma Asher (HEPA) und High Density Inductive Coupling (HDIC), die eine schnelle und präzise Steuerung von Temperatur-, Durchfluss- und Ätzratenprofilen ermöglichen. Das einzigartige Design der induktiven HF-Quelle von Vector ermöglicht auch eine präzise Kontrolle der Partikeldichte und Energieverteilung, was die Ätzerträge verbessern und unerwünschte Schäden am Substrat minimieren kann. Darüber hinaus ist das System speziell für Sicherheit und Effizienz konzipiert. Es umfasst fortschrittliche Automatisierungstechnologien und Qualitätssicherungsoperationen, die den Zeitaufwand für Ätzvorgänge drastisch reduzieren. Die fortschrittliche Software-Suite von LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR sorgt für Prozesskonsistenz und beseitigt das Potenzial für menschliche Fehler. Dies verbessert die Messtechnik nach dem Werkzeug und ermöglicht es Prozessingenieuren, potenzielle Probleme schnell zu erkennen, bevor sie zu kritischen Performance-Fehlern werden. Dies wird durch den hohen Durchsatz des Geräts unterstützt und ist somit ideal für die Serienproduktion geeignet. NOVELLUS Vector verfügt auch über eine ausgeklügelte Verschmutzungssteuerungsmaschine eingebaut, die jeden Aspekt von neuen und gebrauchten Materialien steuert. Dies gewährleistet die Sauberkeit der Ätzkammer und verhindert, dass potentielle Ablagerungen auf Wafer übertragen werden, was zu einem Prozessausfall führen könnte. Insgesamt ist LAM RESEARCH Vector ein zuverlässiges, leistungsstarkes Ätzer/Ascher-Tool von NOVELLUS. Es basiert auf fortschrittlichen Technologien und bietet eine größere Kontrolle über den Ätzprozess. Seine Sicherheits- und Verschmutzungssteuerungsfunktionen machen es zu einem leistungsstarken Werkzeug für produktionsstarke Workflows.
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