Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #293595649 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist ein Ätzer/Ascher, der Anwendern höchste Flexibilität bei Ätz- und Ätzprozessen bietet. Diese Ausrüstung wurde entwickelt, um eine breite Palette von Anwendungen zu bewältigen, von der Allzweckätzung bis zur hochpräzisen Mikrofertigung. Seine Kombination aus Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit machen es zu einer großen Wahl für viele Ätz- und Aschebedürfnisse. ONTRAK 2300 Exelan Flex besteht aus integrierter Steuerung, elektrischer Montage, Waferkarussell, Duschkopf und Seitenwandbaugruppen. Der robuste Controller versorgt das System durch benutzerfreundliche grafische Anzeigen und intuitive Bedienfelder, die eine einfache Bedienung, Parametereingabe und Statusanzeige bieten. Die elektrische Baugruppe, die Relais und Schütze umfasst, sorgt für eine ordnungsgemäße Leistung und Prozessniveau während des Betriebs. Das Waferkarussell hält Wafer sicher für Bewegung in und aus der Prozesskammer und ist mit einem polierten Edelstahlinnenraum für optimale Sauberkeit und Haltbarkeit aufgebaut. Die Duschkopf- und Seitenwandbaugruppen bieten eine Reihe von anpassbaren Prozessen, wie reaktives Ionenätzen (RIE), induktiv gekoppeltes Plasmaätzen (ICP), Aschen und Strippen. Der Duschkopf ist für ein gleichmäßiges Ätzen des gesamten Wafers ausgelegt, während die Seitenwandanordnungen ein selektives Ätzen ermöglichen und zur Reduzierung der Ätzzeit durch Optimierung der Waferposition in der Prozesskammer verwendet werden können. Das Gerät erzielt ausgezeichnete und wiederholbare Ätzergebnisse durch seine fortschrittliche Rezepterstellung, die Prozessüberwachung und -anpassungen ermöglicht. Die Rezepturleistung kann bewertet und weiter optimiert werden, indem verschiedene Parameter analysiert werden, einschließlich Wafer-Position und -Druck, Kammertemperatur und -druck, Gasdurchflussrate und Prozesszeit auf jedem Rezept/Ansatz. Darüber hinaus verfügt die Maschine über umfassende Sicherheitsmerkmale wie Überdruck, Überspannung und Temperaturüberwachungssysteme. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex wurde nach höchsten Qualitätsstandards und Spezifikationen entwickelt und hergestellt und ist damit eine ideale Lösung für viele Ätz- und Aschebedürfnisse. Seine Kombination aus umfassenden Hardware- und Softwarefunktionen, Zuverlässigkeit und Flexibilität machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für viele verschiedene Arten von Ätz- und Veraschungsanwendungen.