Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #293595651 zu verkaufen
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ID: 293595651
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Dielectric etcher, 8"
Gasbox
BROOKS / PRI AUTOMATION ATM/VTM Robot
2004 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist ein leistungsstarker und vielseitiger Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Mikrofabrikationsanwendungen. Seine Fähigkeit, eine Vielzahl von Substratmaterialien wie Silizium, Galliumarsenid, Quarz, Keramik und andere Verbundmaterialien zu verarbeiten, macht es zu einem zuverlässigen und kostengünstigen Werkzeug für Forscher, Ingenieure und Produktionspersonal. ONTRAK 2300 Exelan Flex wurde entwickelt, um maximale Prozessflexibilität in einer einzigen Ausrüstung zu bieten. Es steuert genau den Ätz-/Ascheprozess mit einem Tandemkammerdesign mit kombinierten thermischen, Plasma- und UV-Quellen. Das vielseitige Zweikammersystem kann für Ätz-, Asche- und Passivierungsprozesse eingesetzt werden, wobei beide Kammern individuell für die Aufnahme verschiedener Substrate einstellbar sind. Das Gerät ist außerdem mit einer integrierten dynamischen Wafer-Handhabungseinheit zum effizienten Be- und Entladen des Substrats und zur verbesserten gleichzeitigen Prozesssteuerung ausgestattet. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex bietet auch anspruchsvolle Bedienelemente und Sicherheitsfunktionen, die es besonders benutzerfreundlich und sicher zu bedienen machen. Diese Einheit verwertet eine umfassende Anlageüberwachungsmaschine und PID-Kontrolle, ein Hochleistungsdatenerfassungswerkzeug zeigend, um Prozesszuverlässigkeit zu optimieren. Die verbesserte Sicherheitsvorrichtung hilft, das Risiko von Geräteschäden und Personenschäden zu reduzieren, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für empfindliche Mikrofabrikations- und Medizinproduktanwendungen macht. 2300 Exelan Flex bietet auch benutzerfreundliche Einrichtungs-, Steuerungs- und Überwachungsfunktionen. Das Steuergerät ermöglicht eine nichtflüchtige Rezeptspeicherung sowie einen One-Touch-Betrieb für wiederholbare Prozesse. Das Gerät verfügt außerdem über eine integrierte Computerschnittstelle für Fernbedienung und -überwachung. Dank seines schlanken Designs ist LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ein effizienter und kostengünstiger Ätzer/Ascher für jede Mikrofabrikationsanwendung, von der Herstellung medizinischer Geräte bis zur Produktion fortschrittlicher elektronischer Komponenten.
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