Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #78823 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 78823
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Etcher, 12"
Specifications:
Mainframe: 2300 ver 2.0 (4VPM)
(Qty 3) FOUP Loaders
(Qty 3) Hermos carrier ID
Light curtain for OHT
Status lamp (RYGB)
25-Slot input buffer station
Cable: TM-Subpanel, 100ft
TMLocal NSR: system backup software
(3) 2300 Exelan Flex CFE etch chambers:
PM1: 2007 vintage
PM2: 2007 vintage
PM3: 2007 vintage
Common Items (Qty 1 per chamber):
1600 L/S Edwards Turbo Pump
PMNSR6215: Dual Chiller Install Kit
PMNSR6496-1A (SEMI F47)
2300 Exelan FLEX Quick Clean Kit
2300 Exelan FLEX Pendulum Valve Kit
2300 Exelan FLEX Service Tool Kit
Gas Box: 16 Line Gas Box (IGS)
Software: 2nd HSMS (Fab comm.) Support
Qty 2: ESC, ASSY, DZ CLG, 2 FNSH, 12"
Electrical: 208VAC, 3 Phase, 50/60Hz
CE marked
2007 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist eine Ätz- und Aschehalbleiterverarbeitungsanlage. Es wird häufig in der Lithographie und Musterung, sowie Ätzen, widerstehen Strippen und Aschen verwendet. Dieses System ist ein High-End-Modell und liefert gleichmäßige und genaue Verarbeitungsergebnisse über einen weiten Bereich von Temperaturen, Drücken und Zeiten. Der Exelan Flex ist für eine Vielzahl von Anwendungen konzipiert, darunter Waferetch, dielektrisches und ferromagnetisches Mustern und Plasmaätzen. Es wird mit einem UWM-Generator (Universal Microwaves) betrieben und bietet eine Vielzahl von Prozessfähigkeiten und Prozessen. So können Anwender präzise Muster auf dem Wafer mit hoher Genauigkeit erstellen. Der Exelan Flex ist auch für Strippen und Aschen sowie für andere chemische Verarbeitung wirksam. Der Exelan Flex bietet dank seiner präzisen Temperatur- und Druckregelung eine hohe Wiederholgenauigkeit und Genauigkeit. Es enthält eine computerbasierte grafische Benutzeroberfläche, mit der Benutzer die Prozessparameter erstellen und überwachen können. Das Gerät verfügt auch über eine Vielzahl von erweiterten Funktionen, wie Auto-Repeat-Programmierung, Echtzeit-Grafiken und Batch-Verarbeitung. Diese Maschine verfügt auch über chemische Managementfunktionen und Unterstützung für vorprogrammierte Rezepte. Der Exelan Flex ist ein sehr zuverlässiges Werkzeug mit ausgezeichnetem Durchsatz und Gesamtleistung. Es bietet auch eine einfach zu bedienende Benutzeroberfläche mit einer robusten Datenverwaltung. Dieses Modell enthält auch Zubehör wie eine Abgasanlage und System-Upgrade-Kits, so dass Benutzer das Gerät auf dem neuesten Stand zu halten. Schließlich wurde diese Ätz- und Aschemaschine für optimale Sicherheit konzipiert, mit integrierten Sicherheitsmerkmalen zur Unfallverhütung. Dieses Tool ist äußerst zuverlässig und effizient und hilft Benutzern, präzise Muster, Ätz- und Aschemuster mit Leichtigkeit zu erstellen. ONTRAK 2300 Exelan Flex ist eine ausgezeichnete Wahl für eine breite Palette von lithographischen und Musteranwendungen.
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