Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9032660 zu verkaufen

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ID: 9032660
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2007
Etcher, 8" (3) Chambers, (4) Gas Boxes PDU Software version: 1.7.3-SP3-HF2a 2007 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist für die Hochdurchsatzverarbeitung von Wafern ausgelegt, die für die Chipherstellung erforderlich sind. Dieser Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um überlegenes Ätzen/Aschen für eine breite Palette von Substraten bereitzustellen. Das Gerät verfügt über ein patentiertes und hocheffizientes temperaturgesteuertes Plasmaprozess, das ein breiteres Spektrum an Ätz- und Ascheanforderungen ermöglicht als herkömmliche Verarbeitungsverfahren. Es kommt auch mit einer hochgradig anpassbaren und erweiterbaren Plattform, die es Benutzern ermöglicht, die Ausrüstung auf ihre spezifischen Anwendungsanforderungen anzupassen. Der Exelan Flex ist für einfache Bedienung und zuverlässigen Betrieb ausgelegt; erfordert minimalen Eingriff des Bedieners auf einer intuitiven Benutzeroberfläche. Mit einem offenen Kassettenladesystem und der Möglichkeit, Werkzeuge für Batch-Prozesse zu programmieren, kann es eine breite Palette von Wafern schnell und genau bearbeiten. Es ist auch in der Lage, Fehler in Echtzeit zu erkennen und zu korrigieren, wodurch die Ausschussraten reduziert werden. Der Exelan Flex umfasst Funktionen wie einen integrierten Massendurchflussregler und einen voll programmierbaren Wafer-Transferroboter, die eine präzise Steuerung von Prozessgasen und pneumatischem Vakuum ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine ausgeklügelte Prozesssteuerung, die mehrere Prozessparameter steuern kann, um die Ätz- und Ascheleistung zu optimieren. Der Exelan Flex verfügt zudem über eine hochpräzise Bildverarbeitungseinheit, die jederzeit gleichzeitige Ansichten des gesamten Wafers ermöglicht. Diese leistungsstarke Bilderzeugungsmaschine ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätz- und Ascheprozesses sowie die Fähigkeit, Hotspots oder Muster auf dem Wafer zu identifizieren, wodurch die Erträge verbessert und Verluste während der Produktion reduziert werden. Der Exelan Flex bietet eine umweltfreundliche Ätz-/Aschelösung, da er mit minimalen Chemikalien und Lösungsmitteln arbeitet und die Emissionen von Video Display Terminal (VDT) -Lampen reduziert. Mit überlegener Leistung, flexibler Plattform und einer benutzerfreundlichen Schnittstelle ist ONTRAK 2300 Exelan Flex etcher/asher eine hervorragende Lösung für jeden Bedarf an Chip-Produktion.
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