Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095926 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist eine fortschrittliche Ätz-/Asching-Ausrüstung für die Herstellung und Technologieentwicklung von Wafern. Die Kombination von ONTRAK und LAM RESEARCH macht dieses System zu einem leistungsstarken Werkzeug für Ätz-, Asche- und Reinigungsprozesse. Die Exelan Flex-Einheit wurde entwickelt, um präzise, wiederholbare Ätz- und Ascheprozesse mit kürzeren Zykluszeiten zu ermöglichen und gleichzeitig eine hohe Prozessflexibilität und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Die Maschine ist mit zwei Hochdruck-Ionenkammern ausgestattet, die ein automatisiertes Hochdruckätzen oder -aschen oder Feinabstimmen durch Gaspulsmodulationen ermöglichen. Der Druckbereich ist von 100.000 bis 1000 Torr wählbar. Der Druck jeder Kammer kann unabhängig eingestellt und überwacht werden, so dass unterschiedliche Prozesse gleichzeitig im selben Werkzeug laufen. Das Asset kann auch für Dual-Source-Dampfätzen (DSV) eingerichtet werden, wobei ein Standard-Ätz-/Ascheprozess mit einem Atmosphärendruck-Ascheprozess kombiniert wird. Der Exelan Flex verfügt über ein breitbandiges Mikrowellenanregungsmodell für effektives, energiereiches Ätzen oder Aschen. Dieses Gerät kann in einem weiten Frequenzbereich von 1,3 bis 13,4 GHz arbeiten und bietet die Flexibilität, die Anregung entsprechend den Prozessanforderungen abzustimmen und anzupassen. Das hochempfindliche Wärmemanagementsystem und die Gas Repose Automatic Control (GRAC) sind ebenfalls im Lieferumfang enthalten, so dass Benutzer die Temperatur und den Gasfluss in den Kammern genau steuern können. Die Exelan Flex ist eine hochintegrierte Maschine, die den Bedarf an zusätzlichen Komponenten reduziert und ein flexibles, in sich geschlossenes Ätz- oder Aschewerkzeug bereitstellt. LAM RESEARCH/ONTRAK und ONTRAK bieten Experten-Prozessdesign und Asset-Integration-Services, so dass Benutzer das Modell an ihre eigenen spezifischen Anforderungen anpassen können. Alle Komponenten, die in der Anlage verwendet werden, werden umfassend getestet, um Qualität und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, was es zu einer zuverlässigen Wahl für hochpräzise Ätz- und Ascheprozesse macht.