Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095928 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für komplexe Anwendungen in der Substratverarbeitung entwickelt wurde. Der Ätzer/Ascher kombiniert hochdichte reaktive Ionenätztechnologien (RIE) und Asche-in-Asche-Aus-Technologien zum Strukturieren und Maskieren von Substraten in Anwendungen, die eine hohe laterale Auflösung und Selektivität erfordern. ONTRAK 2300 Exelan Flex ist mit einer variablen Druckluftlager-basierten Bewegungssteuerung für Nano-Level-Präzision und Wiederholbarkeit ausgestattet und verfügt zudem über eine hocheffiziente Multicusp-Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR) -Radiofrequenz (RF) -Quelle. Diese ECR-Quelle ermöglicht eine präzise Steuerung von Ätzprofilen und Selektivität, was zu schnelleren Zykluszeiten und konsistenteren Ergebnissen führt. Der Ätzer/Ascher verfügt zudem über eine optimierte Mehrzonen-Lastverriegelung mit einem spindelantriebsautomatischen Substrathandhabungssystem, das eine zuverlässige und wiederholbare Lieferung von Substraten gewährleistet. Es beinhaltet auch eine externe turbopumpenbasierte Vakuumeinheit, die einen höheren Durchsatz ermöglicht. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex voll automatisiert. Automatisierte Prozessrezepte können für eine Vielzahl von Substraten und Prozessen einschließlich Mehrkammer-Asche-in-Asche-out und RIE-Rezepte programmiert werden. Die Hard- und Software ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Systeme und Netzwerke. Insgesamt ist 2300 Exelan Flex ein fortschrittlicher Substratätzer/Ascher, der den Anforderungen von Anwendungen entspricht, die hochpräzise Nanometer-Prozesse auf einer Vielzahl von Substraten erfordern. Mit seinem Variablendruck kontrolliert Luftpolsterbewegung Maschine, optimiertes Mehrzonenlastschloss- und Spindelnlaufwerkwerkzeug und seinen Außenaufdem Turbo-Pump-Basiertvakuumvermögenswert, es bietet unglaublich schnelle, genaue und konsequente Ergebnisse an. Es ist eine ideale Wahl für Nanofabrikationsanwendungen, die anspruchsvolle Ätz- und Ascheprozesse erfordern.