Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9205200 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine, die eine hervorragende Leistung für eine Vielzahl von Engineering-Prozessen bietet. Das System umfasst eine voll integrierte Suite von Modulen, Komponenten und Werkzeugen, die modernste Ätz-, Plasmareinigungs- und Oberflächenmodifizierungstechniken ermöglichen. Diese Flexibilität und Automatisierung ermöglicht regelmäßig geplante, wiederholbare Prozesse wie Photolithographie, Ätzen, Plasmareinigung und Oberflächenmodifizierung werden schneller und effizienter. Die hochpräzise Einheit ist mit einem programmierbaren Active End Point (AEP) Controller ausgestattet, der eine Vielzahl von Ätzprofilen ermöglicht und die Ätz- und Reinigungsprozesse regelt. Mit fortschreitendem Ätzprozess passt das AEP automatisch die Ätzzeit und den Strom an, was eine gleichbleibende Ätzrate während des gesamten Prozesses gewährleistet. Dies ermöglicht eine höhere Qualität, Wiederholbarkeit und Produktivität von Engineering-Projekten. Die AEP ist in der Lage, Geräte mit verschiedenen Größen, Höhen und Formen zu verwalten und kann den Fortschritt der Ätzung durch das Materialprofil messen. Diese Maschine ist vollständig anpassbar für optimiert für verschiedene Prozesse, um Benutzeranforderungen zu erfüllen. Es beinhaltet ein an Bord befindliches Überdruckvariables reaktives Vorwärts- (OVRF) Druckregelwerkzeug, das in der Lage ist, ultra-niedrige Vakuumbedingungen bis zu 0,0001 Torr zu erreichen. Diese Niederdruckfähigkeit ermöglicht eine verbesserte Ätzgenauigkeit und bessere Haftung von Photolackmaterialien auf dem Substrat. Es bietet auch Oberflächensteuerung und erweiterte Materialätzmanagement. Es verfügt über eine leistungsstarke Ventilsteuerung, die eine Prozessunterbrechung in weniger als einer Sekunde ermöglicht, um die Gefahr einer Kontamination zu verringern. Mit der EPA-Firmware (Etching Process Automation) bietet das Modell verschiedene automatisierte Funktionen zur Vereinfachung der Einrichtung und Zelloptimierung. Dazu gehören ein Prozesslogbuch, Setup-Assistenten, Trendanalysen, Leistungsüberwachung, verbesserte Zykluszeitoptimierung und eine Rezept-Verarbeitung. Dies sorgt für Konsistenz, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Die Geräte können mit einem vollständig integrierten Einbau- und Fernbedienungssystem einfach überwacht und gesteuert werden. Es bietet schnelle Reaktionszeiten über das Netzwerk und ist mit gängiger Software kompatibel, um verschiedene Einstellungen einfach zu überwachen und zu steuern. Der Remote-Zugriff ermöglicht schnellere Problemlösungen, Multi-Remote-Analysen, schnellere Wartungszyklen und Rückverfolgbarkeitsprüfungen. ONTRAK 2300 Exelan Flex ist eine fortschrittliche Ätzeinheit, die Präzision, Flexibilität und Automatisierung für eine Vielzahl von technischen Prozessen bietet. Mit seinen automatisierten Funktionen und Hochleistungskomponenten bietet diese hochmoderne Maschine Werkzeuge für schnelles, genaues und effizientes Ätzen, Plasmareinigung und Oberflächenmodifizierung.