Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9232235 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung von hochpräzisen Geräten und Mustern auf Wafern. Es ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der die ProExel-Technologie verwendet, um Silizium und andere Materialien unter Verwendung einer Kombination aus physikalischer Dampfabscheidung (PVD) und chemischer Dampfabscheidung (CVD) auf Wafern unterschiedlicher Größe und Dicke genau zu ätzen und zu aschen. Der Ätzer/Ascher besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer frequenzmodulierten Plasmaquelle, einer horizontalen Abhebekammer, einem nassen Plasmareaktor, einer vertikalen Abhebekammer, einer Ätzkammer und einer Lastschleuse. Die Plasmaquelle erzeugt energiereiche Ionen, die mit dem geätzten Material interagieren, um die Ätzselektivität zu verbessern und die Ätzraten zu reduzieren. Die horizontale Abhebekammer ermöglicht es dem Bediener, die Wafer zu kippen und zu drehen, so dass sie sich während des gesamten Prozesses frei bewegen können. Der Naßplasmareaktor erzeugt einheitliche Ätzprofile, ohne dass Waferschutzfolien oder eine separate Kammer benötigt werden. Die vertikale Abhebekammer und die Ätzkammer verbessern die Automatisierung des Ätzprozesses weiter und ermöglichen es den Betreibern, die Ätzrate und Selektivität für komplexe Architekturen genauer im Blick zu behalten. Schließlich sorgt das Lastschloss dafür, dass Wafer während des gesamten Bearbeitungszyklus sicher verriegelt bleiben. ONTRAK 2300 Exelan Flex etcher/asher bietet mehrere Vorteile, die es zu einer beliebten Wahl für eine Vielzahl von Prozessanwendungen auf Geräteebene machen. Es kann bei Temperaturen bis 800 ° C arbeiten und ist in der Lage, kritische Geometrien mit wiederholbarer Genauigkeit zu produzieren. Der Ätzer/Ascher kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Metallen und Legierungen mit ausgezeichneten Ätzprofilen zu erstellen, die sie ideal für MEMS, IO, Mikrofluidik und III-V-Anwendungen machen. Der Ätzer/Ascher bietet auch Flexibilität mit Beschichtungen, einschließlich der Möglichkeit, eine breite Palette von Metallen, dielektrischen Schichten und dielektrischen Stapeln abzuscheiden. Schließlich ist der Exelan Flex Ätzer/Ascher einer der effizientesten Ätzer/Ascher auf dem Markt und ermöglicht volumenstarke Prozesse ohne Qualitätseinbußen.