Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9235397 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung für die Hochdurchsatzverarbeitung komplexer Gerätestrukturen. Es ist in der Lage, Oxid, Nitrid und andere dielektrische Materialien zu ätzen, sowie nichtflüchtige kohlenstoffhaltige organische Stoffe bei ultrahohen Geschwindigkeiten mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit und Präzision zu entfernen. Der Exelan Flex verwendet einen Dual-HF-Generator, der hohe Ätzraten sowohl im AC als auch im DC-Modus ermöglicht, mit einstellbaren Leistungsstufen für eine optimale Steuerung. Darüber hinaus verfügt das System über eine Multi-Source-Gasfördereinheit, die die Einführung von bis zu drei Gasen während des Ätzprozesses für zusätzliche Flexibilität ermöglicht. Der Exelan Flex bietet eine Kombination aus niederdruckkapazitiv gekoppeltem und induktiv gekoppeltem Plasma (CCP und ICP) -Ätzen, was eine hervorragende Leistung für eine Vielzahl von Gerätestrukturen bietet. Seine hochmoderne Steuerungsmaschine verfügt über leistungsstarke mathematische Logikeinheit (MLU) Algorithmen, die mit benutzereinstellbarer Vorspannung, Gasdruck und anderen Steuerparametern kombinieren, um überlegene Prozesswiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit zu erreichen. Der Exelan Flex verfügt auch über hervorragende Sicherheitsmerkmale, die den strengsten Industriestandards entsprechen. Seine volldichte Umgebungskammer gewährleistet eine zuverlässige Eindämmung der Prozessgase und gefährlichen Nebenprodukte und ermöglicht einen sicheren Betrieb in einer Niederdruckumgebung. Es umfasst ein automatisiertes selbstreinigendes Werkzeug, das den manuellen Arbeitsaufwand während des Betriebs reduziert oder eliminiert, und eine umfassende Prozessinventar-Steuerung, die die Materialhandhabung automatisiert und eine schnelle Einrichtung und einen hocheffizienten Betrieb erleichtert. Der Exelan Flex ist aufgrund seiner überlegenen Leistung und Zuverlässigkeit in der Mikroelektronikindustrie weit verbreitet. Seine Fähigkeit, eine breite Palette von dielektrischen Materialien mit ultrahohen Ätzraten mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit zu verarbeiten, macht es ideal für den Einsatz bei der Herstellung von Hochleistungs-integrierten Schaltungen, VLSI- und ULSI-Geräten und einer Vielzahl anderer mikroelektronischer Komponenten. Seine fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale gewährleisten die Sicherheit von Personal und Ausrüstung, während sein umfassendes Prozesskontrollmodell konsistente Ergebnisse garantiert. All diese Eigenschaften machen ONTRAK 2300 Exelan Flex zu einer ausgezeichneten Wahl für eine optimale mikroelektronische Geräteherstellung.