Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9237871 zu verkaufen
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ID: 9237871
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Dielectric etcher, 12"
(2) Chambers
2300 Transport module
Dual arm effector wafer handling, 12"
Automated wafer centering
Flat / Notch finding
User interface
Side monitor
Press gauge in SI unit
Online: GEM 300
(2) 2300 Exelan flex DD etch process modules
Fixed gap electrode / One box
ALCATEL 1600MT
Dual gas feed
Dual zone ESC
Heated upper electrode
(2) 12 Gas configurations
2 PM stack kit
System UPS circuity
Seismic bracket (TM / PM / MWS)
System weight dispersion plate (TM / PM / RPM)
ELB With ring lug
(24) MFC 1661 Units
(2) PIO Sensors
(2) OMRON Tag readers
Analog press gauge in SI unit
Digital press gauge in SI unit
Signal input / Output
Quick cleaning kit
2300 Exelan Pend valve CLN kit
(2) TCU: ATS DEX-20A Chillers
(3) FOUP
2004 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist eine leistungsstarke Ätz- und Aschemaschine, die speziell für die Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Basierend auf der patentierten Exelan-Verarbeitungsplattform bietet dieses fortschrittliche System höchste Präzision und Leistung für das Nass- und Trockenätzen und das Aschen. Die Exelan Flex-Einheit nutzt eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, mit der Benutzer einzelne Kammern steuern und die Bedingungen während des Ätz- und Aschenbetriebs überwachen können. Ein integrierter Datenlogger ermöglicht es Benutzern, alle Einstellungen und Datenpunkte während aller Prozesse zu verfolgen und zu überwachen. Anhand dieser Daten können Zusammenhänge zwischen Ätz- und Ascherprozessen und der daraus resultierenden Endproduktqualität identifiziert werden. Die hochentwickelte Maschine verfügt über proprietäre Verarbeitungstechniken wie Dual-Mode-Ätzen, die das gleichzeitige Ätzen und Aschen ermöglichen. Auf diese Weise können Anwender die für den vollständigen Ätz- und Ascheprozess benötigte Zeit verkürzen und während aller Produktionsläufe konsistente Ergebnisse beibehalten. Darüber hinaus bietet das Tool zweidimensionale Ätzfunktionen, mit denen abgewinkelte oder gekrümmte Formen geätzt werden können. Der Exelan Flex verfügt auch über eine abnehmbare Kochplatte, die eine einfache und genaue Wartung und Prozesskontrolle ermöglicht. Zusätzlich kann die Kochplatte bis zu 500 ° C erwärmt werden. Auf diese Weise können Anwender eine vollständige Prozesskontrolle für fortgeschrittene Ätz- und Ascheprozesse erreichen. Schließlich verfügt das Asset über integrierte Sicherheitsmaßnahmen, die Übertemperaturszenarien verhindern und Ausfallzeiten reduzieren. Insgesamt ist ONTRAK 2300 Exelan Flex ein leistungsstarkes Ätz- und Aschemodell, das Anwendern höchste Präzision und Leistung bietet. Durch die Verwendung von Dual-Mode-Ätzen, zweidimensionalem Ätzen und einer abnehmbaren Kochplatte können Benutzer Konsistenz und vollständige Prozesskontrolle während aller Produktionsläufe gewährleisten. Darüber hinaus bieten Sicherheitsmaßnahmen und ein integrierter Datenlogger zusätzliche Ebenen von Schutz und Datenverfolgung.
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