Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9283189 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschen-Halbleiterverarbeitungsanlage, die für hochauflösende und leistungsstarke Ergebnisse entwickelt wurde. Dieses System verfügt über fortschrittliche, vielseitige Technologie, die es ermöglicht, eine breite Palette von Substraten zu verarbeiten, von den kleinen Flocken von Flash/FTL/eMMC-Speicher, 5 „oder 6“ Wafer. Es verfügt über mehrere fortschrittliche Technologien, um überlegene Ätz- und Fotoaschefähigkeit mit ausgezeichneter Null-Toleranz-Ausrichtungsfähigkeit zu bieten. ONTRAK 2300 Exelan Flex hat zwei Kammern, die unterschiedlichen Zwecken dienen. Die obere Kammer ist eine klassische Ätzkammer und soll die Gleichmäßigkeit und Leistung des Prozesses maximieren. Es verwendet kontinuierliche Wellen-, RF-Induktions- und nachgeschaltete Plasmabearbeitung sowie induktiv gekoppelte Plasmaquellen mit niedriger Leistung und hoher Leistung. Die untere Kammer erleichtert die Fotoaschebearbeitung von 125mm Wafern mit gleichbleibenden und sehr gleichmäßigen Ergebnissen. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex ist einfach zu bedienen und zu programmieren wegen seiner fortschrittlichen Automatisierung, eingebauten Ofen und optionalen Extended Time Program (ETP) Modus. Mit der ETP-Fähigkeit können Benutzer eine Reihe von Prozessen programmieren, die sequentiell laufen, Zeit sparen und Ergebnisse verbessern. Das Gerät verfügt außerdem über eine patentierte Multi-Tool Auto-Clamp (MAC) Maschine, die den Ätzprozess automatisch auf die Last und Geometrie des Wafers konfiguriert und optimale Ergebnisse und Zykluszeiten gewährleistet. 2300 Exelan Flex ist zuverlässig und äußerst vielseitig und bietet überlegene Leistung und Ergebnisse. Es ist mit mehreren Prozessüberwachungsfunktionen ausgestattet, einschließlich In-situ-Überwachung für Plasmagas, Abschlepppunkt-Saatgut-Präsenz und Dickenmessungen. Es enthält auch einen Flash-Zyklusalgorithmus für Hochgeschwindigkeitsätzen, eine präzise Gasflussregelung und ein Temperaturregelwerkzeug, um präzise, wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist ein zuverlässiges, hoch anpassungsfähiges Werkzeug, das sich ideal für die Produktion von Flash/FTL/eMMC-Speicher oder anderen Substraten bis 125mm Größe eignet. Dank fortschrittlicher Technologie, Automatisierung und leistungsorientiertem Design liefert ONTRAK 2300 Exelan Flex tolle Ergebnisse mit hoher Ausbeute und Wiederholbarkeit.