Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9329258 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der für die fortschrittliche Schaltungsherstellung geeignet ist. Das Instrument ist mit einer Vielzahl von Funktionen wie einer Linearantrieb-Waferstufe, 12-Bit-Neigungsstufen und einem Exposure Sensor Placement Scanner ausgestattet. Es ist sowohl für Nass- als auch für Trockenätzprozesse konzipiert und kann verwendet werden, um eine Vielzahl von dünnen und dicken Filmstrukturen zu ätzen, die von Metallleiterbahnen bis zu 2 Mikrometer reichen. Darüber hinaus eignet sich der 2300 Exelan für eine Vielzahl von Prozessen, darunter Schruppen, ultraseichte Verbindungsstellen, Herstellungskontakte, Mikrograben und Polyimidätzen. Der 2300 Exelan verfügt über mehrere erweiterte Optionen, wie ein Gas Concentration Control Equipment (GCCS) zur Steuerung von Ätz- und Abscheideprozessen sowie einen Compact RF Generator (CRG) und eine programmierbare Stromversorgung (PPS) zur präzisen Steuerung von Prozessparametern. Darüber hinaus ist das System mit einem hochauflösenden Spin-Coater, Plasmaquellenreiniger und schnellem Ex-situ-Monitor ausgestattet, der eine präzise Kontrolle von Chemikalien und kritischen Prozessparametern ermöglicht. Auch der 2300 Exelan ist mit bis zu 100 Wafern/Stunde Ätzkapazität hochdurchsatzfähig. Dieser Durchsatz wird erreicht, indem vier bis acht Wafer für jedes Rezept auf der Waferstufe platziert werden und anschließend die Parameter für jede Schicht jedes Ätzrezepts auf die spezifischen Anforderungen des Kunden abgestimmt werden. Darüber hinaus wurde das Gerät entwickelt, um bedienerabhängige Fehler zu reduzieren, mit einem intuitiven HMI (Human Machine Interface), das das Rezept-Setup vereinfacht und langwierige manuelle Ausrichtungs- und Kalibrierungsprozesse eliminiert. Der 2300 Exelan ist sehr vielseitig in seinen Fähigkeiten; Neben dem Ätzen von Metallschichten auf Waferebene kann es auch nichtleitende Materialien wie organische Schichten einschließlich Resist-, Glas- und Nitridschichten ätzen. Die Maschine ist auch für hochpräzise Anwendungen mit extrem gut kontrolliertem Gasfluss, geringer Partikellast und präzisen, wiederholbaren Parametern konzipiert. Insgesamt ist ONTRAK 2300 Exelan Flex ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um überlegene Präzision und Durchsatz für die fortschrittliche Schaltungsherstellung zu bieten. Das Tool bietet eine Vielzahl von Funktionen, um die Wiederholbarkeit des Prozesses zu gewährleisten, einschließlich eines hochauflösenden Spin-Coaters, eines Plasmaquellenreinigers, eines GCCS und eines hochintuitiven HMI. Es ist auch für Hochdurchsatzoperationen konzipiert, mit bis zu 100 Wafern/Stunde Ätzkapazität und der Fähigkeit, eine breite Palette von Materialtypen zu ätzen.